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熊莉娜
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
湖北省化学研究院
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相关领域:
化学工程
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合作作者
佘亚萍
湖北省化学研究院
吕兴军
湖北省化学研究院
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佘湘平
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2008
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两步法合成正性光致抗蚀剂用酚醛树脂的研究
被引量:3
2008年
第一步在甲醛过量的条件下合成2,6-双羟甲基对甲酚预聚体;第二步在无甲醛条件下,通过调节摩尔比、反应时间等实验条件,合成出结构交替的光致抗蚀剂用酚醛树脂。
宛盼盼
佘亚萍
吕兴军
佘湘平
熊莉娜
关键词:
光致抗蚀剂
酚醛树脂
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