张挺
- 作品数：4 被引量：15H指数：2
- 供职机构：四川压电与声光技术研究所更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术电子电信更多>>
- 微电子技术在惯性技术领域中的应用
- 本文简要介绍了化学各自异性刻蚀的原理,说明了石英音叉振子的加工过程,给出了石英微机械振动陀螺的结构和试验结果,目前制作出的微机械振动陀螺的刻度因子大约为1mV/(°/s),品质因子大约为(5-6)×10。
- 张巧云吕志清彭洪亮林日乐张挺
- 文献传递
- 半球陀螺谐振子的金属化镀膜工艺技术研究被引量：8
- 2006年
- 高品质因数(即高Q值,Q>107)的石英半球谐振子是制造高精度半球谐振陀螺的关键,而球面金属化镀膜工艺是半球振子制造的重要工艺环节。该文介绍了金属化镀膜工艺及其膜层均匀性对谐振子品质因数的影响及降低膜层残余应力的工艺解决方案等。
- 张挺徐思宇冒继明谭文耀蒋春桥
- 关键词：半球谐振陀螺磁控溅射金属化
- 半球谐振陀螺Q值测试技术研究
- 半球谐振子的Q值对半球陀螺的性能指标有重大的影响。对半球陀螺谐振子的Q值进行测试和提高是半球陀螺研制的关键。本文介绍了Q值测试的基本原理和相关的测试技术,给出了相应的实验数据。
- 李先梅蒋春桥余波张挺彭慧雷霆方针
- 关键词：Q值
- 文献传递
- 石英微加工技术在微陀螺研制中的应用(英文)被引量：7
- 2009年
- 利用集成电路演变而来的微加工技术研制的微型陀螺,便于批量生产。其成本低,质量轻,抗冲击。该文介绍了石英微陀螺的基本结构和工作原理,叙述了石英晶体化学各向异性刻蚀的工作机理和加工方法。利用化学各向异性刻蚀加工技术,研制出微型陀螺样机,其主要技术指标:零偏稳定性为15(°)/h,线性度为0.05% ,分辨率为0.008 (°)/s,带宽为50Hz。
- 张巧云林日乐谢佳维朱振忠张挺吕志清
- 关键词：石英微陀螺各向异性
