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杨红

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:四川大学物理科学与技术学院更多>>
发文基金:四川省科技厅科技支撑计划项目更多>>
相关领域:金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇多弧离子镀
  • 1篇离子镀
  • 1篇复合膜
  • 1篇TI
  • 1篇U
  • 1篇N-C

机构

  • 1篇四川大学

作者

  • 1篇刘进
  • 1篇石云龙
  • 1篇杨红

传媒

  • 1篇四川大学学报...

年份

  • 1篇2017
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
多弧离子镀沉积TiN-Cu复合膜被引量:1
2017年
利用多弧离子镀的方法,分别在不同弧电流和沉积时间下,在不锈钢基体上沉积TiN-Cu复合膜;对薄膜表面形貌、截面形貌、相组成和硬度进行表征.结果表明,复合膜中的Cu含量、沉积条件对薄膜微观结构和硬度有重要的影响.金属Cu的加入,阻止了TiN柱状晶的生长,改变了纯TiN薄膜的择优取向.当沉积时间为2h,脉冲负偏压为200V时,Cu含量为12.96at%,复合膜硬度达到最大值为2976HV.
杨红刘进石云龙
关键词:多弧离子镀复合膜
共1页<1>
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