郑汉卿
- 作品数：2 被引量：17H指数：2
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 显微镜自动粗调焦的TennenGrad改进算法被引量：12
- 2007年
- 提出了使用Sobel算子或Laplace算子做卷积,对图像像素点进行绝对值相加的TennenGrad改进算法,以及La-place改进算法,和几种已有评价函数进行分析比较。为了判断粗调评价函数的优劣,对评价函数的判断准则进行了逐一分析,并且将平滑性、高效率、强壮性作为最主要的衡量标准。在搭建的显微镜粗调实验系统中,对较为复杂的MEMS器件-微加速度计进行粗调成像。另外,对显微成像系统的调焦策略进行分析研究,提出并比较分析了3种调焦策略,其中n点灰度比较策略是较优的策略。实验处理结果表明,改进的TennenGrad算法具有最优的粗调特性,调焦范围较大,达到了210μm;调焦分辨率高,达到7μm,同时调焦图像显示出曲线变得更加平滑,曲线部极值点由5个减为0个。
- 余超王伯雄郑汉卿罗秀芝张明照
- 关键词：显微镜自动调焦
- 基于自动调焦显微视觉的MEMS运动测量技术被引量：5
- 2007年
- 为了对微机电系统(MEMS)的机械动态性能进行测试,结合自动调焦、机器显微视觉和频闪照明成像等多项技术,设计了基于自动调焦显微视觉的MEMS动态测试系统,可进行MEMS平面运动和离面运动的测量。该文介绍了系统的设计组成和关键技术,并针对系统做了验证性实验。实验结果表明,平面亚像素位移算法的匹配精度可达1/50个像素,在系统25倍的放大倍率下,平面刚体运动测量分辨率达到7.2nm×8.3nm;自动调焦过程迅速,焦平面定位精确,离面运动测量分辨率达到0.1μm。
- 郑汉卿王伯雄余超罗秀芝
- 关键词：显微视觉自动调焦亚像素算法
