- 关于光纤低相干测厚系统中光束耦合效率的研究
- 2016年
- 将变焦透镜组的方法用于解决光纤低相干测厚系统中光束损失问题,介绍了一套基于光纤低相干干涉技术的测厚装置。根据光纤耦合条件与光纤出射光束能量分布规律,给出了关于光束耦合效率受光束横向尺寸与反射面曲率半径影响的分析;理论分析了变焦透镜组引入侧厚系统后耦合效率的提升效果。实验证明,引入变焦透镜后信号损失情况明显得到改善,该系统的相对测量误差小于0.05%。
- 陈力王军华徐敏
- 关键词：厚度
- 像散法离焦检测系统的分析与校准被引量：1
- 2016年
- 离焦检测技术的研究是光学加工与检测行业的一项重要课题。像散法由于操作简单、灵敏度高等优点,被广泛应用于离焦检测技术中。然而,基于像散法的离焦检测系统设计有待完善。基于像散法的基本理论,综合考虑系统像面光斑大小合理性和光学元件可加工性等因素对像散离焦检测系统进行灵敏度分析。设置合适的参数,并使用光学设计软件Zemax对光学元件几何参数进行优化。为了计算实际光斑的能量非均匀与非标准椭圆的性质带来的误差,采用MATLAB对该系统进行光线追迹。根据光线追迹的结果,完成对零信号像面的校准工作,提高了测量精度。
- 陈力王军华徐敏
- 关键词：光线追迹
