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杨柳青
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
南京邮电大学材料科学与工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
王志姣
南京邮电大学材料科学与工程学院
杨建波
南京邮电大学材料科学与工程学院
李兴鳌
南京邮电大学材料科学与工程学院
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磁控溅射
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V
机构
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南京邮电大学
作者
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李兴鳌
1篇
杨建波
1篇
王志姣
1篇
杨柳青
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1篇
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年份
1篇
2015
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磁控溅射法制备V掺杂Cu_3N薄膜研究
被引量:1
2015年
利用磁控溅射法成功制备了V掺杂Cu3N薄膜。XRD显示随着V掺入浓度的升高,薄膜的择优生长取向由(111)面向(100)面转变。SEM结果表明向Cu3N薄膜中掺入V,薄膜的晶体颗粒形态发生了变化。从对薄膜样品进行的光反射率、电阻率和显微硬度测试结果可以看出,薄膜中掺入适当浓度V对其光吸收、导电性和力学性能有一定程度的改善。
黄赛佳
侯雨轩
侍宇雨
王志姣
杨柳青
杨建波
李兴鳌
关键词:
V
磁控溅射
反射率
电阻率
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