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马俊
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
南开大学
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发文基金:
天津市应用基础与前沿技术研究计划
中央高校基本科研业务费专项资金
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相关领域:
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耿新华
南开大学
倪牮
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黄振华
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曹宇
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张建军
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年份
1篇
2013
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RF-PECVD法制备高Ge含量微晶Si-Ge薄膜及太阳电池
被引量:7
2013年
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,研究了衬底温度对高Ge含量(≈50%)微晶Si-Ge(μc-SiGe:H)薄膜结构特性和电学特性的影响。结果表明:较低的衬底温度会抑制μc-SiGe:H薄膜(220)晶向的择优生长;而当衬底温度过高时,μc-SiGe:H薄膜的O含量和微结构因子较大。在衬底温度为200℃时,获得了光电特性和结构特性较优的高Ge含量μc-SiGe:H薄膜。将优化好的μc-SiGe:H薄膜应用到电池中,在本征层为600nm的情况下,获得了转换效率为3.31%(Jsc=22.5mA/cm2,Voc=0.32V,FF=0.46)的单结μc-SiGe:H电池,电池在1 100nm处的光谱响应达5.49%。
曹宇
张建军
李天微
黄振华
马俊
杨旭
倪牮
耿新华
赵颖
关键词:
衬底温度
太阳电池
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