刘通
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 供职机构：北京市工业技师学院更多>>
- 相关领域：化学工程更多>>
- HF酸对玻璃浅层蚀刻模型的研究被引量：2
- 2015年
- 为控制石英玻璃与HF酸的反应,实现石英玻璃精密元件的化学蚀刻和对石英玻璃工艺品的精确加工,探讨了化学反应机理和腐蚀的动力学过程。重点探究了影响整个蚀刻过程的重要因素,HF酸溶液的浓度c、反应的温度T和反应的时间t与蚀刻深度之间的关系。结合power law幂率模型的原理,建立了适用于石英玻璃浅层蚀刻的数学模型。验证时,选取了10,20℃等温度下,4种不同浓度的HF酸体系,通过模拟曲线和实验数据的对比,得知误差基本维持在5%以内。因此,该模型可以对玻璃的浅层蚀刻进行比较准确的模拟。
- 秦静庞东袁騉李椿方刘通
- 关键词：HF数学模型
