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姜坤

作品数：1 被引量：9H指数：1
供职机构：中国计量学院计量技术工程学院更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇压电陶瓷驱动
  • 1篇压电陶瓷驱动...
  • 1篇驱动器
  • 1篇微定位
  • 1篇微定位工作台
  • 1篇迈克尔逊干涉...
  • 1篇干涉仪

机构

  • 1篇中国计量学院

作者

  • 1篇朱若谷
  • 1篇姜坤

传媒

  • 1篇中国计量学院...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用迈克尔逊干涉仪测微定位工作台的位移被引量：9
2006年
将迈克尔逊干涉实验装置用于用压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的一体化微定位工作台,通过实验研究了其位移与电压的关系.实验结果表明它们在限定的工作范围内具有良好的二次曲线关系.另外,还对影响系统定位的误差作了相关分析.
姜坤朱若谷
关键词：压电陶瓷驱动器微定位工作台
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