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肖雄

作品数：2 被引量：14H指数：2
供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇金刚石
  • 2篇刚石
  • 1篇单晶金刚石
  • 1篇等离子体化学...
  • 1篇微波等离子体
  • 1篇微波等离子体...
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米金刚石
  • 1篇纳米金刚石薄...
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇MPCVD

机构

  • 2篇武汉工程大学

作者

  • 2篇满卫东
  • 2篇何莲
  • 2篇肖雄
  • 2篇赵彦君

传媒

  • 2篇真空与低温

年份

  • 2篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
MPCVD法合成单晶金刚石的研究及应用进展被引量：13
2015年
单晶金刚石因其优异的物理化学性质,使其成为高新技术领域最有潜力的材料之一。本文首先对CVD(化学气相沉积)法制备单晶金刚石进行了简介,然后对MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)制备单晶金刚石过程中衬底选择、预处理、沉积参数等进行了详细评述,最后对MPCVD单晶金刚石在超精密加工、光学领域、粒子探测器、高温半导体及电子器件等方面的应用进行了介绍,并对未来单晶金刚石的发展作出了展望。
阳硕满卫东赵彦君何莲肖雄
关键词：单晶金刚石
纳米金刚石的制备及研究进展被引量：4
2015年
纳米金刚石具有比普通金刚石更优越的性能,目前有诸多学者致力于纳米金刚石的研究。化学气相沉积法(CVD)制备纳米金刚石是近年来比较成熟的制备方法。通过简要描述纳米金刚石薄膜的生长机制,介绍了两种制备纳米金刚石薄膜的方法及其优势,讨论了两种方法在纳米金刚石的质量、尺寸及沉积速率等方面取得的最新研究进展,并对今后的主要研究方向进行了展望。
肖雄满卫东何莲赵彦君阳硕
关键词：纳米金刚石薄膜
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共1页<1>
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