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二极管型非制冷红外焦平面中二极管结构优化研究: 2023年; 为适应非制冷红外探测器高空间分辨率的发展趋势,非制冷红外焦平面阵列作为非制冷红外探测器的核心部件不断向大阵列、小像素方向发展。本文针对二极管型非制冷红外焦平面阵列,理论分析了敏感元件二极管对读出电路以及器件性能的影响,在确定二极管最佳工作电流的同时,提炼出二极管结构中串联个数以及结面积为主要性能影响因素。基于此,设计了p^(+)n-pn-n^(+)p三合一二极管,并将其与传统二极管、回型二极管、p^(+)n-n^(+)p二合一二极管、以及由p^(+)n-n^(+)p二合一二极管直接拓展得到的两种三合一二极管进行了对比考察,研究发现6种结构中p^(+)n-pn-n^(+)p三合一二极管在相同尺寸下拥有最多的二极管串联数量且结面积相对最大;进而利用Sentaurus TCAD仿真,验证了在同一整体尺寸下,p^(+)n-pn-n^(+)p三合一二极管的电压温度系数分别约为p^(+)n-n^(+)p二合一二极管,及在其基础上直接拓展得到的两种三合一二极管的1.5倍,为回型二极管与传统二极管的2.6倍、3.7倍。证明了在小像素下p^(+)n-pn-n^(+)p三合一二极管性能最优,且在其基础上拓展可得到N合一二极管能进一步优化器件的性能。; 瞿帆傅剑宇侯影侯影李振锋卢一泓; 关键词：噪声等效温差

一种二极管型红外热探测器热学参数的电学等效测试方法: 2019年; 红外热探测器的热学参数包括热容、热导、热响应时间,反应了结构信息和器件性能。精确有效地获得这些参数,对探测器的结构优化与性能评估具有指导意义。二极管型红外热探测器是红外热探测器的主要类型之一。基于二极管型红外热探测器的自热效应,提出了一种热学参数的电学等效测试方法,具有测量精度高且实现简单的特点。并对自制的一款二极管型红外焦平面阵列像元进行了测试,测试结果与理论分析相符,验证了方法的可行性。; 刘超侯影傅剑宇傅剑宇魏德波刘瑞文; 关键词：红外热探测器二极管热学参数

一种复合式MEMS皮拉尼真空计的设计被引量：3: 2021年; 微电子机械系统(MEMS)皮拉尼真空计可广泛用于芯片封装和设备测试等领域。量程是MEMS皮拉尼真空计的重要性能指标之一。设计了一种复合式MEMS皮拉尼真空计,通过将具有不同测量范围的两款器件串联复合在同一芯片上,实现量程的扩展。以二极管型皮拉尼真空计为例设计了器件结构,优化了尺寸参数,并给出了兼容CMOS工艺的制造方案。最后通过COMSOL仿真,获得器件气压测量范围可达2.5×10^(-3)~1.15×10^(6)Pa,同时平均灵敏度达到132 mV/dec。相比于现有的单一型和组合式器件,设计的复合式MEMS皮拉尼真空计可以在小尺寸情况下具有更大的量程兼更高的灵敏度。; 周琼傅剑宇刘超侯影侯影

一种微弱信号读出电路: 本发明实施例公开了一种微弱信号读出电路包括：斩波放大电路；斩波放大电路，包括：第一斩波器、第二斩波器、第三斩波器、第四斩波器和第一运算放大器；第一斩波器的输入端连接微弱信号，第一斩波器的输出端经第二斩波器连接第一运算放大...; 何青王玮冰李佳侯影孙业超; 文献传递

一种微弱信号读出电路: 本发明实施例公开了一种微弱信号读出电路包括：斩波放大电路；斩波放大电路，包括：第一斩波器、第二斩波器、第三斩波器、第四斩波器和第一运算放大器；第一斩波器的输入端连接微弱信号，第一斩波器的输出端经第二斩波器连接第一运算放大...; 何青王玮冰李佳侯影孙业超; 文献传递

微型湿度传感器: 本发明提供一种微型湿度传感器，涉及微机电系统技术领域。所述微型湿度传感器包括：敏感结构、支撑层、悬臂梁、信号线、框架和衬底；其中，所述框架固定在衬底上；所述支撑层通过悬臂梁与框架连接；所述敏感结构固定在支撑层上；所述信号...; 傅剑宇刘瑞文侯影魏德波刘超王玮冰陈大鹏; 文献传递

非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化（英文）被引量：2: 2018年; 灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列（IRFPA）的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数（VTC）对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结结面积是两项重要因素。因此,设计出6个串联＂阱＂形pn结的二极管结构,并对具有该结构的热敏二极管型红外焦平面阵列进行了流片。测试结果表明,在10μA正向偏置电流下,二极管结构的电压温度系数为8.2 mV/K,单个像素的灵敏度为19.1μV/K。不同结面积结构的测试结果表明,增加结面积能有效提升二极管结构的电压温度系数和灵敏度。; 张强张强吕文龙刘瑞文魏德波侯影薛惠琼傅剑宇王玮冰; 关键词：PN结二极管

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