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张玉芹

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：重庆科技学院冶金与材料工程学院更多>>
发文基金：重庆市自然科学基金重庆市教育委员会科学技术研究项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇钛酸锶
  • 1篇钛酸锶钡
  • 1篇钛酸锶钡薄膜
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射法
  • 1篇溅射法制备
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数
  • 1篇BST薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇重庆科技学院

作者

  • 1篇符春林
  • 1篇邓小玲
  • 1篇刘行冰
  • 1篇成计平
  • 1篇张玉芹

传媒

  • 1篇硅酸盐通报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
工艺因素对磁控溅射法制备钛酸锶钡薄膜性能的影响被引量：1
2013年
磁控溅射技术在薄膜制备领域有着广泛的应用。本文在介绍磁控溅射法制备薄膜材料的基本原理和流程基础之上,详细分析了溅射工艺参数(溅射功率、温度、溅射气压、氧分压)对BST薄膜性能的影响,并提出了研究中需要解决的一些问题。
张玉芹邓小玲刘行冰符春林成计平
关键词：磁控溅射BST薄膜工艺参数
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共1页<1>
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