李刚
- 作品数:62 被引量:40H指数:5
- 供职机构:兰州空间技术物理研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金甘肃省科技计划项目国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域:一般工业技术自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置及方法
- 本发明涉及一种基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置及方法,属于测量领域。所述装置中:高真空样品室、第一真空阀门、第一、二小孔、第一、二分子泵和干泵依次通过真空管路串联连接;热阴极电离规B或质谱计连接在第一、二小孔间...
- 李艳武成永军董猛盛学民陈联李刚黄宏高洁
- 一种磁悬浮转子真空计传感器贮存运输防护装置及方法
- 本申请涉及一种磁悬浮转子真空计传感器贮存运输防护装置及方法,包括:支撑杆、金属构件、底座、密封板、螺杆、防护装置壳体、第一法兰、第二法兰。本申请所述的一种磁悬浮转子真空计传感器贮存运输防护装置及方法,可以实现磁悬浮转子真...
- 习振华郭美如贾文杰任正宜张虎忠李刚李博文李超
- 一种基于浓硼掺杂的MEMS感压薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种基于浓硼掺杂的MEMS感压薄膜的制备方法,通过采用浓硼掺杂技术中自停止腐蚀工艺可精准控制薄膜厚度,可制备微米级薄膜,从而提高电容测量重复性,有效保证真空计实际生产制备;同时采用硼硅玻璃去除方案,能够有效去...
- 李得天柯鑫李刚成永军孙雯君吴成耀刘珈彤汪宁陈会颖
- 文献传递
- 一种小型飞行时间质谱计
- 本发明公开了一种小型飞行时间质谱计。本发明包括真空腔、离子源、离子传输系统、加速区、无场飞行区、反射区和离子检测器;其中,加速区和反射区分别位于无场飞行区的两侧;无场飞行区的电场为0,反射区的电场方向与加速区的电场方向相...
- 郭美如董猛孙雯君李刚裴晓强任正宜管保国
- 文献传递
- 一种测量刚性转子在稀薄气体中转速衰减率的方法
- 本申请涉及测试仪器技术领域,具体而言,涉及一种测量刚性转子在稀薄气体中转速衰减率的方法,采用少量的数据通过一层层滚动的多通道采样实现数据的多次利用,进而实现高精度的衰减率计算,能够兼顾准确性和响应速度,解决了稀薄气体中刚...
- 李得天郭美如习振华李博文贾文杰任正宜张虎忠李刚
- 一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法
- 本申请涉及测量仪器检漏技术领域,具体而言,涉及一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法,所述装置包括伺服机构、密封夹具、氦质谱检漏仪以及标准漏孔,其中:密封夹具设置多个,每个密封夹具内部设置一种电容薄膜真空计的零...
- 孙雯君丁栋裴晓强成永军李刚董猛张虎忠张瑞芳
- 一种基于NEG泵的宽动态范围质谱测量装置及方法
- 本发明公开了一种基于NEG泵的宽动态范围质谱测量装置及方法。本发明利用非蒸散性吸气剂泵(NEG泵)的选择性抽气特性和限流阀的可调节分子流导特性,结合混合气体测量时先吸附后激活脱附的手段,将质谱计测量混合气体的动态范围特性...
- 董猛成永军孙雯君吴成耀冯天佑陈联裴晓强李刚
- 碳纳米管场发射阴极制备及其应用研究被引量:8
- 2018年
- 碳纳米管(Carbon nanotube, CNT)薄膜可作为场发射阴极材料,具有常温下工作、物理化学性能稳定、响应时间快等一系列优点,在各类电真空器件中具有潜在的应用价值。本文重点综述了兰州空间技术物理研究所近年来开展的碳纳米管阴极制备及其应用研究进展,总结了CVD法直接生长法制备不同微观形貌的碳纳米管薄膜的实验方法,分析了不同碳纳米管阴极的场发射特性,介绍了其在超高真空测量和空间电推进中的应用现状及最新进展。
- 李得天成永军张虎忠孙雯君王永军孙健李刚裴晓强
- 关键词:碳纳米管阴极场致发射超高真空计
- 一种MEMS电容式真空规及其制作方法
- 本发明提供了一种MEMS电容式真空规及其制作方法,能够实现高线性输出以及强抗过载能力。本发明的MEMS电容式真空规,第三电极上为刻有环形槽的硅片,通过环形槽形成中间岛结构,当感压薄膜即第二电极受到压力作用时,与第三电极接...
- 李得天孙雯君王呈祥成永军郭美如袁征难李刚赵澜
- 文献传递
- MEMS电容薄膜真空计产品研发与应用
- 为了满足航空航天、国防军工等领域的特殊需求,真空测量仪器正在向小型化方向发展。在此背景下,我们开展了基于MEMS技术的电容薄膜真空计的研制工作。研制过程中,采用"先差压,后绝压"这一工作思路,将全部研制工作分解为"大宽厚...
- 李刚韩晓东李得天