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蒋才超
作品数:
37
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供职机构:
中国科学院合肥物质科学研究院
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相关领域:
电气工程
电子电信
文化科学
一般工业技术
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合作作者
谢远来
中国科学院合肥物质科学研究院
谢亚红
中国科学院合肥物质科学研究院
刘智民
中国科学院合肥物质科学研究院
刘胜
中国科学院合肥物质科学研究院
胡纯栋
中国科学院合肥物质科学研究院
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中国科学院合...
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作者
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蒋才超
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谢远来
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谢亚红
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刘智民
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一种射频离子源驱动器等效阻抗计算方法
本发明公开了一种射频离子源驱动器等效阻抗计算方法,该方法基于理想气体方程、等离子体电动力学以及变压器模型等理论,通过给定的感性耦合射频等离子体放电条件,逐步推导等离子体电子温度、欧姆加热频率、随机加热频率、等离子体电导率...
蒋才超
刘波
陈世勇
刘智民
刘胜
潘军军
谢远来
谢亚红
胡纯栋
一种大功率射频功率源输出功率线性控制系统和方法
本发明涉及一种大功率射频功率源输出功率线性控制系统和方法,所述系统包括射频信号产生单元、射频功放模块组、功率合成单元、控制信号源、信号处理单元、功率控制单元;射频功放模块组的每个射频功放模块连接至功率合成单元中功率合成变...
舒先来
刘智民
谢亚红
蒋才超
潘军军
陈世勇
刘胜
崔庆龙
谢远来
一种吸收分布电容能量装置的设计方法
本发明公开了一种吸收分布电容能量装置的设计方法,该方法基于打火故障限制电流、高压直流传输线外径、高压直流传输系统分布电容大小、可安装缓冲器空间大小、缓冲器磁芯材料相对磁导率、缓冲器磁芯材料饱和磁通密度、缓冲器磁芯磁环宽度...
蒋才超
刘波
刘智民
陈世勇
潘军军
刘胜
魏伟
谢远来
一种射频离子源法拉第屏蔽筒制造方法及模具
本发明提供一种射频离子源法拉第屏蔽筒制造方法及模具,所述方法包括:制作法拉第屏蔽筒圆板基材;在模具中加载圆板基材,进行法拉第屏蔽筒压制成型;将压制好的法拉第屏蔽筒从模具脱模;最终将进出水管和侧壁缝隙采用真空钎焊焊接成型,...
顾玉明
谢亚红
韦江龙
李军
谢远来
胡纯栋
梁立振
邑伟
蒋才超
许永建
一种射频离子源启动灯丝装置
本实用新型提供一种射频离子源启动灯丝装置,包括进气管、上法兰绝缘压板、上法兰盖板、压紧螺栓、下法兰绝缘压板、钼棒、绝缘陶瓷、固定钼座、钼座法兰、真空密封圈、冷却水管和法兰盖板;所述进气管和钼座法兰及钼棒焊接成一体安装在下...
顾玉明
谢亚红
韦江龙
李军
谢远来
胡纯栋
梁立振
蒋才超
许永建
邑伟
一种真空抽气系统
本发明公开了一种真空抽气系统,包括有等离子体腔室、等离子驱动源、真空泵和多段连接管道,真空泵的进气管与被抽工件之间通过真空管道连接,且真空管道上设置等离子体腔室,等离子体腔室内在等离子体驱动源的激励作用下产生等离子体,其...
李军
凌必利
胡纯栋
吴斌
张洪明
吕波
谢远来
谢亚红
韦江龙
顾玉明
许永建
蒋才超
盛鹏
一种内置天线射频离子源
本实用新型公开了一种内置天线射频离子源,主体由真空腔体、大于等于两匝金属管绕成的天线线圈和绝缘保持架组成,所述的天线线圈通过绝缘保持架绝缘分隔固定,且天线线圈呈平行状态排列布置在真空腔体内,绝缘保持架填充天线线圈间的空隙...
蒋才超
李军
胡纯栋
谢亚红
吴斌
赵鹏
刘胜
韦江龙
顾玉明
刘玲
王进芳
一种陶瓷水冷无法拉第桶射频离子源
本实用新型公开了一种陶瓷水冷无法拉第桶射频离子源,包括有双层陶瓷筒,所述的双层陶瓷筒的内侧与外层中间空隙为冷却水道,在双层陶瓷筒的外侧缠绕有射频线圈,在双层陶瓷筒的上端和下端分别设有与冷却水道相通的进水口和出水口,双层陶...
顾玉明
韦江龙
谢亚红
李军
谢远来
梁立振
蒋才超
许永建
一种分布电容能量吸收验证装置
本发明公开一种分布电容能量吸收验证装置,属于直流高压浪涌抑制领域,主要由直流高压发生器、高压开关、高压电容组、隔离变压器、能量吸收装置以及高压球隙短路开关等部件组成,通过高压电容组模拟分布电容,利用高压球隙短路开关模拟直...
蒋才超
刘波
刘智民
陈世勇
潘军军
刘胜
谢远来
一种射频离子源法拉第屏蔽筒制造方法及模具
本发明提供一种射频离子源法拉第屏蔽筒制造方法及模具,所述方法包括:制作法拉第屏蔽筒圆板基材;在模具中加载圆板基材,进行法拉第屏蔽筒压制成型;将压制好的法拉第屏蔽筒从模具脱模;最终将进出水管和侧壁缝隙采用真空钎焊焊接成型,...
顾玉明
谢亚红
韦江龙
李军
谢远来
胡纯栋
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