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冯秀娟
作品数:
1
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供职机构:
河北大学物理科学与技术学院
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
王文军
保定师范专科学校物理系
金成
河北大学物理科学与技术学院
王英龙
河北大学物理科学与技术学院
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华北电力大学...
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2006
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激光烧蚀制备纳米Si晶粒尺寸均匀性与靶衬间距的关系
2006年
为了对纳米Si薄膜中晶粒尺寸的分布进行定量研究,首次提出“晶粒尺寸均匀度”的概念,并对Lowndes等人采用脉冲激光烧蚀方法制备纳米Si薄膜的实验结果进行了定量分析。结果表明,随着靶衬间距的增大,晶粒尺寸均匀度先减小后增大,也就是说,存在靶衬间距的最佳值,使所制备的纳米Si晶粒的尺寸均匀性最好。MonteCarlo模拟结果对这一结论进行了解释。
金成
王文军
冯秀娟
王英龙
关键词:
纳米SI晶粒
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