曹哲
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
- 供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- pH值对碱性抛光液速率稳定性的影响被引量：1
- 2013年
- 通过分析pH值对碱性抛光液抛光速率稳定性的影响,得出了碱性抛光液抛光速率相对稳定的pH值区间,并与酸性抛光液进行了对比,在酸性环境中至少稳定24 h,pH≤4时甚至可稳定6天。在碱性环境中pH为8时稳定性效果较好。研究得出了不同体积分数的螯合剂对碱性抛光液速率稳定性的影响,河北工业大学微电子所研制的螯合剂为多羟多胺有机碱,具有调节pH的作用。随螯合剂的体积分数逐渐增加,碱性抛光液抛光速率的稳定性逐渐变差,因此在研究碱性抛光液配比时应注意螯合剂的体积分数,以提高稳定性。观察和分析了碱性抛光液在全pH值范围内的速率稳定性变化,并将碱性抛光液的pH值调至7以下,在不产生凝胶的前提下观察其速率的稳定性。
- 曹哲刘玉岭王辰伟李海龙蔡婷
- 关键词：PH值碱性抛光液稳定性速率螯合剂
