刘志超
- 作品数：21 被引量：54H指数：5
- 供职机构：成都精密光学工程研究中心更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划博士科研启动基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 熔石英表面加工引入金属微粒的三倍频激光损伤机制被引量：3
- 2011年
- 以材料表面金属元素吸收作为主线建立熔石英表面损伤模型,理论模拟了激光辐照过程中金属微粒周围温度场的变化,模型结果显示,在脉冲时间内微粒周围温度很快达到损伤判据给出的临界温度。通过激光损伤实验,对比刻蚀与未刻蚀样品之间的损伤密度,证实了金属微粒含量与损伤密度存在密切联系。计算结果和实验结果均表明:金属微粒是熔石英激光损伤中重要的吸收前驱体,极大降低了熔石英材料的表面抗损伤性能。
- 欧阳升刘志超许乔
- 关键词：激光损伤熔石英三倍频吸收体
- 1064nm激光多脉冲下HfO_2/SiO_2高反膜损伤规律被引量：4
- 2012年
- 利用小口径元件损伤测试平台对HfO2/SiO2高反膜的1 064 nm激光多脉冲损伤规律进行了研究。研究结果表明:多脉冲作用下HfO2/SiO2高反膜损伤在形态上主要分为色斑和层裂两类,在一定条件的多发次脉冲作用下,色斑损伤存在向层裂损伤转换的趋势;层裂损伤尺寸随脉冲发次呈指数递增后趋于极大值的变化规律,且终态尺寸与辐照激光能量密度呈近似线性关系;色斑S-on-1损伤阈值与脉冲发次关系不明显,而层裂S-on-1损伤阈值随脉冲发次增加呈指数衰减后趋于极小值的变化规律。采用衰减公式拟合手段,对元件抗损伤能力退化规律进行了初步的定量分析。
- 刘志超陈松林罗晋潘峰李树刚
- 带旋转毛玻璃干涉成像系统的统计分析被引量：5
- 2011年
- 从统计光学出发,建立了带旋转毛玻璃干涉成像系统的信噪比理论模型,分析旋转毛玻璃参数、光场相干性与系统信噪比之间的关系。模拟计算和实验结果表明：旋转毛玻璃降低了干涉成像系统中光场的相干性,增大了曝光时间内采集的不相关散斑场个数,从而抑制了相干噪声;旋转毛玻璃表面粗糙度的增大,相关长度的缩短,转速的提高都会减小光场的相干时间。为了得到较理想的系统信噪比,应控制旋转毛玻璃参数使旋转周期约等于CCD曝光时间,并使光场相干长度为测试光和参考光间光程差的2~5倍。
- 徐建程刘志超杜雅薇柴立群许乔王辉
- 关键词：信噪比散斑噪声
- 带探测系统的激光预处理装置
- 本实用新型公开了一种带探测系统的激光预处理装置，属于光学技术领域。它包括激光预处理系统，由预处理光源、光源开关、能量调节器、聚焦器、分光光楔及位于其出射端的能量探测器构成；还包括探测系统，其包括沿被测样品入射线方向设置的...
- 马平刘志超郑轶陈松林潘峰
- 文献传递
- 基于低通滤波的相位掩模干涉图相位解调方法
- 2011年
- 传统的四步相移算法在分析相位掩模干涉图时存在相移值误差、分辨力降低和相干噪声等不足,从而影响了动态干涉仪的性能。为了提高相位掩模干涉图的分析精度,提出了一种基于低通滤波的相位解调方法。该方法根据相位掩模引入相位的空间频率远大于被测相位空间频率的最大值,采用低通滤波的方法提取相位信息。数值分析结果表明,该方法的精度高于传统四步相移算法。分析干涉图的信噪比,合理选择低通滤波器,可进一步提高相位解调的精度。
- 徐建程杜雅薇刘志超许乔金洪震王辉
- 关键词：低通滤波
- 缺陷对HfO2薄膜的激光弱吸收与损伤阈值的影响
- 激光弱吸收是导致光学薄膜损伤的重要原因。在0.7-2.7*10Pa的氧分压下制备并测试了一组HfO膜。实验发现,当氧分压小于1.2*10Pa时,薄膜弱吸收越大,损伤阈值越低;当氧分压大于1.2*10Pa时,薄膜的损伤阈值...
- 卫耀伟刘浩潘峰吴倩罗晋刘志超郑轶
- 文献传递
- 原子层沉积薄膜之激光损伤性能分析
- 2011年
- 采用目前尚在国内鲜有报道的原子层沉积技术在熔石英和BK7玻璃基片上镀制了TiO2单层膜、Al2O3单层膜以及TiO2/Al2O3增透膜,沉积温度在110℃和280℃。利用X射线粉末衍射仪对膜层微观结构进行了分析研究,并在激光损伤平台上进行了抗激光损伤阈值的测量。采用Nomarski微分干涉差显微镜和原子力显微镜对激光损伤后的形貌进行了观察分析。结果表明,采用原子层沉积技术镀制的膜层厚度均匀性较好,本实验中采用50mm样品的膜层厚度均匀性优于99%;光谱增透效果显著,在1064nm处的透过率大于99.8%;沉积温度影响着膜层的沉积速率、膜层微观结构,进而影响着膜层的抗激光损伤阈值。其中,熔石英和BK7基片上TiO2/Al2O3薄膜激光损伤阈值在110℃时分别为6.73±0.47J/cm2和6.5±0.46J/cm2,明显高于其在280℃时的损伤阈值。
- 卫耀伟陈松林刘志超马平许乔
- 关键词：薄膜光学
- 中等口径光斑激光预处理被引量：4
- 2013年
- 介绍了一种基于中等口径光斑的新型激光预处理技术。采用基频最大输出10J的Nd:YAG调Q激光器,获得了直径5mm、能量密度满足预处理需求的中等口径光斑。较之于小光斑处理方案,采用中等光斑进行扫描,可以显著压缩大口径光学元件的预处理总耗时。为了验证效果,搭建了实验平台,在陪镀片上开展了光斑扫描与损伤阈值测量实验,设计了合理的中等光斑预处理流程,并对阈值提升效果进行了验证。在此基础上,开展了正式元件的预处理实验,采用大行程二维电动位移台,对430mm×430mm口径的金属铪蒸发工艺高反膜元件进行了夹持和扫描。实验结果表明,经处理后的高反薄膜元件初步达到了27J/cm2的阈值水平,证明了该技术对薄膜抗损伤能力的提升效果。
- 郑轶刘志超马平陈松林张清华
- 关键词：光学薄膜激光损伤激光预处理
- TiO_2/Al_2O_3薄膜的原子层沉积和光学性能分析被引量：10
- 2011年
- 采用原子层沉积技术在熔石英和BK7玻璃基片上镀制了TiO2/Al2O3薄膜,沉积温度分别为110℃和280℃。利用X射线粉末衍射仪对膜层微观结构进行了分析研究,并在激光损伤平台上进行了抗激光损伤阈值测量。采用Nomarski微分干涉差显微镜和原子力显微镜对激光损伤后的形貌进行了观察分析。结果表明,采用原子层沉积技术镀制的TiO2/Al2O3增透膜的厚度均匀性较好,Φ50 mm样品的膜层厚度均匀性优于99%;光谱增透效果显著,在1 064 nm处的透过率>99.8%;在熔石英和BK7基片上,TiO2/Al2O3薄膜在110℃时的激光损伤阈值分别为(6.73±0.47)J/cm2和(6.5±0.46)J/cm2,明显高于在280℃时的损伤阈值。
- 卫耀伟刘志超陈松林
- 关键词：薄膜光学原子层沉积激光损伤增透膜
- 并行扫描激光预处理装置及方法
- 本发明公开了一种并行扫描激光预处理装置及方法，属于光学技术领域。装置包括沿激光传输方向设置的激光光源、机械快门、能量衰减器、光束汇聚系统、分光劈板和合束镜，还包括光束轮廓仪、激光能量计、信标光源和电动位移台；光学元件置于...
- 马平郑轶刘志超浦云体王刚
- 文献传递
