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柳存定

作品数：28 被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：中国科学院西部之光基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术文化科学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 26篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 7篇理学
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇文化科学

主题

  • 19篇镀膜
  • 19篇光学
  • 12篇镀膜机
  • 10篇光学元件
  • 9篇行星
  • 9篇计算机
  • 9篇计算机优化
  • 8篇真空镀膜
  • 8篇设计方法
  • 7篇星系
  • 7篇行星系
  • 7篇行星系统
  • 6篇真空镀膜机
  • 4篇增透
  • 4篇增透膜
  • 4篇透射
  • 4篇球面
  • 4篇光谱
  • 4篇光学常数
  • 4篇测试片

机构

  • 28篇中国科学院
  • 2篇中国科学院大...
  • 1篇电子科技大学

作者

  • 28篇柳存定
  • 15篇孔明东
  • 14篇李斌成
  • 13篇郭春
  • 8篇杨伟
  • 1篇曹国富
  • 1篇何文彦

传媒

  • 1篇光学学报
  • 1篇光电工程

年份

  • 1篇2023
  • 7篇2022
  • 4篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2017
  • 1篇2015
  • 6篇2014
  • 2篇2013
  • 4篇2012
共 28 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种镀膜厚度光学控制装置和方法
本发明涉及一种镀膜厚度光学控制装置和方法，所述的装置包括一个及以上不同波长的激光器、用于不同波长激光分束和合束的分光光学元件、散射板、驱动电机、透镜、多模光纤、光功率计、光控测试片、以及镀膜夹具。激光经过受驱动电机驱动而...
柳存定黎明杨伟
文献传递
一种衍射光学器件表面增透膜的镀膜方法
本发明公开了一种衍射光学器件表面增透膜的镀膜方法，通过优化原子层沉积镀膜参数，获得衍射光学器件微结构表面共形生长的膜层镀膜工艺；以优化的镀膜参数，在光学抛光的测试基板上分别镀制高折射率膜层和低折射率膜层，利用椭圆偏振光谱...
柳存定黎明杨伟
文献传递
平面行星系统修正挡板校正膜厚均匀性被引量：4
2013年
分别建立了真空镀膜机行星系统中平面光学元件薄膜厚度模型和修正挡板校正薄膜厚度非均匀性模型,并运用数值计算方法完成修正挡板优化设计;研究了使用修正挡板校正薄膜厚度分布时平面行星夹具上热蒸发薄膜材料的沉积效率。实验结果表明:依据修正挡板校正薄膜厚度非均匀性模型优化设计的修正挡板能使口径为310mm、无倾斜放置的平面行星夹具上,由电子束热蒸发工艺制备的MgF2薄膜厚度均匀性优于99.6%,并且热蒸发MgF2薄膜材料的沉积效率高于87.4%。
郭春孔明东柳存定李斌成
关键词：光学镀膜行星系统
一种真空镀膜机行星转动夹具上球面光学元件镀膜均匀性修正挡板的设计方法
一种真空镀膜机行星转动夹具上球面光学元件镀膜均匀性修正挡板的设计方法，通过建立真空环境中的镀膜模型，研究行星转动夹具上平面或球面光学元件镀膜后薄膜厚度分布。通过将行星转动夹具中光学元件的镀膜过程等效成简单转动夹具中的镀膜...
柳存定李斌成孔明东郭春
文献传递
一种化学气相沉积液体源材料的监测装置
本发明涉及一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，所述的装置包括液体源瓶、托盘、重量传感器、截止阀、柔性金属软管、真空规。液体源瓶用于盛装化学气相沉积镀膜的反应源材料；液体源瓶放置在托盘上，托盘固定在重量传感器上。所述的重...
柳存定黎明
一种用于镀膜行星系统中控制平面光学元件膜厚分布的挡板设计方法
一种用于镀膜行星系统中控制平面光学元件膜厚分布的挡板设计方法，真空镀膜过程中，膜料以蒸发或溅射方式在真空环境中传输，并在平面光学元件表面上形成厚度非均匀分布的薄膜。分别建立了能真实反映未使用挡板和使用挡板修正时真空镀膜机...
李斌成郭春孔明东柳存定
一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法
本发明公开了一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法，通过研究行星转动夹具上镀膜元件的运动规律，设计专用圆环形直接光控测试片和镀膜夹具；在镀膜机中优化光源和光收集聚焦透镜的位置，并通过控制背景噪声、光强度以及信号测...
柳存定李斌成孔明东
文献传递
一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法
一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法，通过实验或理论方法，获得高真空镀膜机中大口径球面光学元件单层膜厚度均匀性修正挡板形状；利用修正挡板修正增透膜中每一层薄膜厚度均匀性，在球面光学元件上按照膜系设计要...
李斌成柳存定孔明东郭春
文献传递
SiO_2光学薄膜的吸收边特性被引量：3
2019年
二氧化硅(SiO_2)是光学系统中最常用光学薄膜材料之一,其微观结构、缺陷等信息对于研究和提高薄膜的性能具有重要作用。本文通过电子束蒸发、离子辅助、磁控溅射方法制备SiO_2薄膜并进行测试,计算出其吸收边光谱,对吸收边光谱的强吸收区、e指数区、弱吸收区进行分段分析得到SiO_2薄膜的带隙宽度、带尾能量和氧空位缺陷含量数据。进一步分析三种薄膜和其在常规退火温度下的带隙宽度、带尾能量和氧空位缺陷含量的数据,获得SiO_2薄膜的微观原子排列结构、微观缺陷信息,并对不同镀膜技术和不同退火温度下SiO_2薄膜的原子排列结构、微观缺陷的差异和变化进行了分析和讨论。
孔明东李斌成郭春郭春柳存定
关键词：SIO2薄膜
一种化学气相沉积液体源材料的监测装置
本发明涉及一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，所述的装置包括液体源瓶、托盘、重量传感器、截止阀、柔性金属软管、真空规。液体源瓶用于盛装化学气相沉积镀膜的反应源材料；液体源瓶放置在托盘上，托盘固定在重量传感器上。所述的重...
柳存定黎明
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