秦涛
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：西安电子科技大学技术物理学院更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 用体式显微镜研究SiC单晶中的微管缺陷
- 2009年
- 用拉曼光谱、X射线双晶衍射仪以及体式显微镜,对升华法生长的6H-SiC单晶品质、SiC单晶中的微管缺陷进行表征。通过对SiC单晶腐蚀前后的微管数目比较发现,微管尺寸和其所形成的腐蚀坑大小并不是呈线性关系,腐蚀前后用体式显微镜观察到的微管数目大致相等。从实验数据发现,微管的尺寸有最小值,这给SiC微管密度分布,提供了一种无损检测方法。
- 李劼章安辉何秀坤曹全喜秦涛
- 关键词：微管SIC计数
- 半绝缘半导体切片电阻率无接触测定方法研究被引量：1
- 2009年
- 与很多测试方法一样,电阻率是通过流过电接触样品的电流,测出其电压下降值来测定的。文中通过对无接触和接触两种主要测试方法的研究对比,探讨了用电容式探测器对半绝缘半导体切片电阻率的无接触测定,并论述了其测试原理、测试所用电容器、测试条件、测试过程及结果计算。
- 秦涛何秀坤董彦辉李劼
- 关键词：电阻率电容器
