韩晓
- 作品数:3 被引量:1H指数:1
- 供职机构:电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 相关领域:一般工业技术电气工程金属学及工艺更多>>
- 直流溅射法制备YBCO带材研究
- 相对于第一代的Bi系高温超导带材,第二代钇系超导带材具有交流损耗低、性价比高以及在磁场下载流能力强等优点,在工业上具有广阔的应用前景,是高温超导带材的发展方向。由于直流溅射具有方法简单、易于控制以及工艺重复性好等特点,本...
- 韩晓
- 关键词:高温超导带材YBCO涂层导体
- 文献传递
- 高质量2英寸双面YBCO/MgO薄膜的批量化制备
- 2008年
- 开展了2英寸(5.08cm)MgO单晶基片上YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜的制备及工艺稳定性研究。通过对基片表面状态的研究,提出了高温退火处理基片的方法,改善了基片的表平整度,大幅度提高了薄膜的取向性以及结晶质量,制备得到的YBCO薄膜具有优越的超导电性,薄膜临界电流密度J(c77K,0T)≈2.5MA/cm2,微波表面电阻R(s10GHz,77K)≈0.16mΩ,能够满足超导滤波器的设计要求。另外,还就工艺的稳定性和可重复性进行了研究,表明电子科技大学已具有小批量化提供大面积双面YBCO样品的能力。
- 熊杰陶伯万韩晓贺镜谭冯啸宋晓科张飞李言荣
- 关键词:YBCO超导薄膜退火可重复性
- 连续生长的双面CeO_2种子层均匀性研究
- 2008年
- 采用直流反应磁控溅射方法在轧制辅助双轴织构Ni-5at%W基带上,成功连续制备出可用作第二代高温超导带材过渡层的高质量双面CeO2种子层薄膜。X射线衍射表明薄膜均为(00l)方向生长,并存在很强的内面外织构;原子力显微镜表征缓冲层表面连续平整,颗粒致密无裂纹,通过对长样品两面和不同位置研究,表明所制备得到的双面薄膜具有很好的两面一致性和单面均匀性。采用相同的工艺条件生长YSZ中间层以及CeO2模版层得到CeO2/YSZ/CeO23层缓冲层结构。并在其短样上采用直流溅射生长YBCO薄膜进一步验证过渡层薄膜的质量,YBCO薄膜具有较高的结晶质量;其单面临界电流密度Jc达到1.3MA/cm2,双面带材临界电流Ic为113A/cm。在总厚度增加不大的情况下,双面带材的提出,能够使电流承载水平成倍增加,其工程电流密度大幅度增加,并有利于器件小型化。
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- 关键词:直流反应磁控溅射