您的位置： 专家智库 > >

景月月

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：南开大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学电子电信经济管理更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇经济管理
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 3篇多晶
  • 3篇多晶硅
  • 3篇多晶硅薄膜
  • 3篇硅薄膜
  • 2篇氢等离子体
  • 2篇象素
  • 2篇晶体管
  • 1篇预处理
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子工艺
  • 1篇晶化
  • 1篇激光晶化
  • 1篇薄膜晶体
  • 1篇薄膜晶体管

机构

  • 3篇南开大学
  • 1篇河北工业大学

作者

  • 3篇景月月
  • 2篇李娟
  • 1篇熊绍珍
  • 1篇刘宁
  • 1篇李娟

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2014
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
一种用氢等离子体预处理激光晶化制备多晶硅薄膜的方法
一种用氢等离子体预处理激光晶化制备多晶硅薄膜的方法，步骤如下：在石英玻璃衬底上沉积晶化前驱物后进行退火处理；采用等离子体增强化学气相沉积法进行氢等离子体预处理后进行二次退火处理；用激光器的激光照射上述二次退火处理后的晶化...
李娟景月月吕朋浩刘政鹏
文献传递
氢等离子体辅助固相晶化多晶硅薄膜的初步研究被引量：1
2014年
提出一种氢等离子辅助固相晶化(hydrogen plasma assisted solid phase crystallization,H-SPC)多晶硅的新颖技术。这一晶化技术能够明显缩短晶化时间,同时有效钝化多晶硅薄膜的缺陷态。首先对氢等离子辅助SPC技术与传统SPC技术进行比较分析,进而研究了晶化过程中各种工艺条件对多晶硅晶化质量的影响并进行了物理机制的初步分析。
刘政鹏李娟刘宁景月月熊绍珍
关键词：氢等离子体多晶硅薄膜薄膜晶体管
一种用氢等离子体预处理激光晶化制备多晶硅薄膜的方法
一种用氢等离子体预处理激光晶化制备多晶硅薄膜的方法，步骤如下：在石英玻璃衬底上沉积晶化前驱物后进行退火处理；采用等离子体增强化学气相沉积法进行氢等离子体预处理后进行二次退火处理；用激光器的激光照射上述二次退火处理后的晶化...
李娟景月月吕朋浩刘政鹏
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0