石雅婷
- 作品数：26 被引量：2H指数：1
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金国家重大科学仪器设备开发专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 一种紧凑型滚转角传感器装置及测量方法
- 本发明属于光电检测与测量领域，并具体公开了一种紧凑型滚转角传感器装置及测量方法，包括线偏振光产生模块、传感模块和集成检测模块，线偏振产生模块包括激光器和线偏振器，传感模块包括波片，波片与待测旋转元件相连并同步转动，集成检...
- 陈修国陶泽刘世元石雅婷陈超江浩张传维
- 文献传递
- 快照式穆勒矩阵椭偏仪相位延迟量误差的通用校准方法
- 本发明属于精密光学测量仪器系统参数校准领域，并具体公开了一种快照式穆勒矩阵椭偏仪相位延迟量误差的通用校准方法，其包括如下步骤：S1、按预设相位延迟器厚度比搭建快照式穆勒矩阵椭偏仪，然后对三组标准样品进行测量，得到三组测量...
- 陈修国王鹏张劲松石雅婷刘世元
- 文献传递
- 一种基于穆勒矩阵的套刻误差提取方法
- 本发明属于半导体制造中的套刻误差测量领域，具体涉及一种基于穆勒矩阵的纳米结构套刻误差提取方法。本发明采用穆勒矩阵矩阵对角线上的M13和M31元素，或者M23和M32元素的线性组合分别直接拟合得到一条直线，利用该拟合直线可...
- 刘世元朱金龙董正琼石雅婷
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- 套刻误差测量装置及其测量方法和优化方法
- 本发明属于光刻相关技术领域，其公开了一种套刻误差测量装置及其测量方法和优化方法，该装置包括：照明系统；设于照明系统光路上的起偏臂，起偏臂沿光路依次包括起偏器、第一相位延迟器、第二相位延迟器以及第一透镜组；与起偏臂沿待测套...
- 刘世元王鹏陈修国张劲松石雅婷
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- 纳米结构光学散射减基边界元法建模研究
- 由于具有测量速度快、成本低、非破坏性等优点，光学散射测量技术已经发展成为批量化纳米制造中纳米结构形貌参数在线测量的一种重要手段。作为一种非成像测量技术，光学散射测量过程是一个典型的逆问题求解过程，其中参数化光学散射模型的...
- 石雅婷
- 关键词：边界元法
- Asoprisnil及其衍生物的合成与孕酮拮抗活性研究
- 石雅婷
- 一种紧凑型滚转角传感器装置及测量方法
- 本发明属于光电检测与测量领域，并具体公开了一种紧凑型滚转角传感器装置及测量方法，包括线偏振光产生模块、传感模块和集成检测模块，线偏振产生模块包括激光器和线偏振器，传感模块包括波片，波片与待测旋转元件相连并同步转动，集成检...
- 陈修国陶泽刘世元石雅婷陈超江浩张传维
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- 基于灵敏度与线性相关分析的光学散射测量条件优化配置
- 纳米结构的光学散射测量主要由两个关键技术支撑,即正向光学特性建模和几何参数逆向提取[1].其中,正向求解是指依据已知的光学入射条件和几何参数尺寸,采用电磁场建模理论获得仿真光谱数据的过程;反向几何参数求解则是指运用库匹配...
- 董正琼陈修国石雅婷张传维刘世元
- 光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法
- 本发明公开了一种光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法，可以对IC制造中所涉及纳米结构的结构参数和粗糙度特征参数进行非接触、非破坏的测量。首先，通过仿真分析的手段，选出最优测量配置与最优等效介质模型；其次，将上述仿...
- 刘世元石雅婷陈修国张传维
- 文献传递
- 基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射测量条件优化配置被引量：2
- 2016年
- 在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于灵敏度分析的测量条件优化配置方法来改善待测参数的灵敏度,以实现更高精度的纳米结构测量.实验表明,在理论预估的最优测量配置下,一维纳米结构所有待测参数的测量精确最优,验证了其有效性.
- 董正琼刘世元陈修国石雅婷张传维江浩
- 关键词：灵敏度
