胡广
- 作品数：10 被引量：4H指数：1
- 供职机构：上海大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市教育委员会重点学科基金上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学核科学技术更多>>
- 等离子平板显示中冷阴极纳米金刚石膜的制备(英文)被引量：1
- 2008年
- 讨论大面积4cm×4cm纳米金刚石膜制备工艺.采用电子辅助-热丝化学气相沉积法(EA-HFCVD)在硅片上沉积纳米金刚石膜.生长过程中,预先加6安培偏流生长1小时,然后在0.8千帕条件下,无偏流生长3小时.原子力镜表征晶粒尺寸为30纳米.样品上任意三点采用原子力镜表征,表现出良好均匀性.采用偏振光椭圆率测量仪和分光计分别表征样品的折射率和透射率.红外波段透过率超过50%.金刚石膜表面分别进行氢化和氧化处理.通过表征,氢化处理后膜比氧化处理后膜对应的γ值大,约为0.45 .
- 祝雪丰王林军胡广刘建敏黄建徐金勇夏义本
- 关键词：透过率
- 金刚石薄膜共面栅紫外光探测器的设计和研究
- 金刚石具有独特的电学、光学、热学和物化稳定性能，基于金刚石薄膜的日盲型紫外光探测器的研究已成为该领域的研究热点。金刚石薄膜探测器性能很大程度上取决于薄膜质量、器件工艺、器件结构和信号处理技术，本文主要从改善金刚石薄膜质量...
- 胡广
- 关键词：金刚石薄膜紫外光探测器有限元方法
- 文献传递
- EA-HFCVD沉积纳米金刚石膜的光致发光分析(英文)
- 2007年
- 采用电子辅助-热丝化学气相沉积法(EA-HFCVD)在硅片上沉积出晶粒尺寸为30nm的均匀金刚石膜。生长过程中,预先加6A偏流生长1h,然后在0.8kPa条件下,无偏流生长3h。光致发光谱中存在4个发光中心分别位于1.682eV,1,564eV,1,518eV和1.512eV的发光峰。1.682eV处发光峰源于衬底硅原子掺杂于膜中引起的缺陷;其他发光峰源于金刚石晶格振动声子。光致发光强度越大对应的缺陷密度越大,从而降低了场发射域值电场强度,其关键可能源于金刚石膜电导型晶界。
- 祝雪丰王林军胡广刘健敏黄健徐金勇夏义本
- 关键词：光致发光
- 纳米光学金刚石薄膜的分析与改进(英文)被引量：1
- 2007年
- 由于极其优良的热学和光学性能,纳米金刚石薄膜极有可能应用于背投电视的激光光学窗口。文章通过在热丝辅助化学气相沉积法中采用偏压增强成核(BEN-HFCVD) ,成功地在(100)硅衬底上制得了适于作为光学窗口的高质量的光学级纳米金刚石薄膜,采用的偏压为-30 V。通过表征制备的纳米金刚石薄膜,发现它具有光滑的表面,表面均方根粗糙度(RMS)约为10 nm,并且对自支撑纳米金刚石薄膜进行透射光谱分析得到其透射率达到了50 %。
- 胡广王林军祝雪丰刘建民黄健徐金勇夏义本
- 关键词：纳米金刚石光学性质表面粗糙度
- 薄膜取向性对金刚石紫外光探测器性能的影响被引量：1
- 2008年
- 国际上一般采用任意取向的多晶薄膜作为探测级材料，所以电荷收集效率较低以至于灵敏度受到限制。本实验采用不同取向的多晶金刚石薄膜制作紫外光探测器，研究了薄膜取向性对探测器性能的影响，为进一步提高金刚石薄膜紫外光探测器的性能提供理论和实验依据。采用热丝辅助化学气相沉积（HFCVD）法，获得了晶粒尺寸接近的不同取向的金刚石薄膜。通过微电子加工工艺制备了不同取向的金刚石薄膜紫外光叉指结构探测器。研究表明，探测器性能与金刚石薄膜晶粒取向密切相关，使用（100）取向薄膜所获得的探测器性能明显得到改善，在225nm紫外光下的光电流～暗电流之比以及190-700nm波长范围内的紫外／可见分辨率均优于其它取向。
- 赖建明王林军刘健敏马莹胡广祝雪丰黄健夏义本
- 关键词：金刚石膜紫外光探测器取向性
- 共面栅结构的紫外光探测器的制备方法
- 本发明涉及一种基于(100)定向金刚石薄膜的共面栅结构紫外光探测器器件的制备方法。属紫外光探测器器件制备工艺技术领域。本发明共面栅紫外光探测器的特点是在金刚石薄膜表面为一对叉指电极，衬底硅背面为一背电极；采用光刻方法制作...
- 王林军胡广祝雪丰黄健徐金勇夏义本
- 文献传递
- 金刚石薄膜紫外光探测器电流—电压特性的研究被引量：1
- 2008年
- 采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了1.8μm、2.5μm和3.1μm三种晶粒尺寸的金刚石薄膜,并制作了共平面光电导探测器。采用光学显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌。电流—电压(I-V)特性测试结果表明,探测器性能与金刚石薄膜晶粒大小密切相关,随着晶粒尺寸的增加,光电流/暗电流之比以及净光电流均提高。
- 唐可王林军黄健马莹胡广祝雪丰夏义本
- 关键词：金刚石薄膜紫外光探测器晶粒尺寸电学性能
- 共面栅结构的紫外光探测器的制备方法
- 本发明涉及一种基于(100)定向金刚石薄膜的共面栅结构紫外光探测器器件的制备方法。属紫外光探测器器件制备工艺技术领域。本发明共面栅紫外光探测器的特点是在金刚石薄膜表面为一对叉指电极，衬底硅背面为一背电极；采用光刻方法制作...
- 王林军胡广祝雪丰黄健徐金勇夏义本
- 文献传递
- 应用于FED的金刚石薄膜的光学和结构分析(英文)
- 2008年
- 本文比较研究了不同晶粒大小和结构的金刚石薄膜的场发射性质,这些金刚石薄膜通过热丝辅助化学气相沉积法( HFCVD)获得。研究结果表明纳米尺寸效应对金刚石薄膜的场发射性能有非常重要的影响,通过比较不同晶粒尺寸的金刚石薄膜发现纳米金刚石薄膜相对于大晶粒金刚石薄膜(比如微米级的金刚石薄膜)有更好的场发射性能。从拉曼光谱得到,含有一定量非金刚石相的金刚石薄膜有更好的场发射能力和更低的开启电场(E0)。另外,具有(111)定向的金刚石薄膜比起其他结构的金刚石薄膜,它的电子发射能力更强。
- 胡广王林军祝雪丰刘建敏黄健徐金勇夏义本
- 关键词：场发射开启电场发射电流拉曼光谱
- 纳米金刚石薄膜窗口的制备方法
- 本发明涉及一种纳米金刚石薄膜窗口的制备方法，属化学气相沉积工艺及激光窗口材料制作技术领域。本发明通过对热丝化学气相沉积工艺的改进，采用了负偏压来增强金刚石薄膜在生长过程中的气相沉积；在钽丝和硅片底座之间施加上负偏压。高温...
- 胡广祝雪丰王林军黄健徐金勇夏义本
- 文献传递
