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宋朝辉

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇蛇形
  • 1篇塑性
  • 1篇塑性变形
  • 1篇硅

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 1篇戈肖鸿
  • 1篇车录锋
  • 1篇肖育华
  • 1篇宋朝辉

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器被引量：2
2011年
设计了基于硅塑性变形的垂直梳齿驱动器,中央可动微镜由四组蛇形曲折梁支撑。驱动器的制作采用硅—硅键合技术,首先利用DRIE干法刻蚀技术释放可动梳齿与固定梳齿,然后通过各向异性湿法腐蚀制作的施压凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,最后利用硅塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出在Z方向依靠位错梳齿实现垂直驱动的蛇形梁静电梳齿驱动器。
肖育华宋朝辉戈肖鸿车录锋
关键词：塑性变形
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