胡琛
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：电子科技大学光电信息学院四川省显示科学与技术重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金四川省应用基础研究计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信更多>>
- 有机气相沉积中薄膜生长的模拟研究被引量：4
- 2012年
- 通过对有机气相沉积中气体的传输过程进行模拟,略述了OVPD传输的基本机制。利用蒙特卡洛法对有机蒸气通过掩膜孔的动力学沉积过程进行仿真,仿真结果表明薄膜的形状受沉积参数的影响,例如,分子平均自由程(沉积压强)、掩膜板的尺寸以及掩膜板至基板的距离。分析表明,通过缩小掩膜板至基板的距离,同时减小沉积压强可以提高所成薄膜图案的分辨率,减小掩膜板的厚度可以提高材料的使用效率。
- 陈文彬李国栋胡琛闫思家芮大为赵启义
- 关键词：分辨率
- 真空热沉积过程中有机薄膜生长的模拟研究被引量：1
- 2010年
- 利用Monte Carlo方法对真空蒸发系统下的有机薄膜生长过程进行了模拟。在该系统模型中,Ns个点蒸发源均匀分布在半径为R的圆周上,基板相对蒸发源所在平面距离为d。利用该模型分析了膜厚分布以及点蒸发源个数Ns、蒸发源与基板的相对位置R和d对薄膜厚度均匀性的影响,并通过实验对仿真结果进行了验证。结果显示,增加蒸发源个数、增大相对基板位置均可以有效提高薄膜的均匀性,测试发现薄膜样品的精度Max-Min均保持在5%左右。
- 胡琛杨刚陈文彬骆开均
- 关键词：均匀性真空蒸镀
- 有机薄膜生长与OLED系统蒸发源结构的初步研究
- 近几年来，新型的有机功能材料，由于具有传统的无机材料相似的性能而得到业界的广泛关注。无机材料根据性质的不同，在制备相应的薄膜上有不同的外延生长工艺。这些制备工艺要求很高，严重制约了其在高分辨率显示技术方面的发展。与无机材...
- 胡琛
- 关键词：有机发光二极管均匀性
- 文献传递
