张玉成
- 作品数：7 被引量：1H指数：1
- 供职机构：辽宁工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术机械工程金属学及工艺更多>>
- 一种物料输送用双弯曲复合行波超声振动料斗
- 一种物料输送用双弯曲复合行波超声振动料斗，涉及一种超声物料输送构件，料斗下端的振子采用同一频率下的两正交一阶弯曲模态叠加形成弯曲行波，进而驱动物料在旋转过程中下落。对振子上的压电陶瓷片施加适宜频率的交变电压的激励，振子将...
- 张玉成李超何勍
- 文献传递
- 一种利用液体传递兆赫级振动的超声抛光装置
- 一种利用液体传递兆赫级振动的超声抛光方法及其抛光装置，涉及一种抛光方法及其装置，该方法通过柔性的耦合剂传递振动，将振子的高频超声振动传递到振动抛光工具上；实现了不依赖于整体模态分析与模态设计的振动抛光工具。并将该方法应用...
- 何勍张玉成
- 文献传递
- 利用液体传递兆赫级振动的超声抛光方法及其抛光装置
- 利用液体传递兆赫级振动的超声抛光方法及其抛光装置，涉及一种抛光方法及其装置，该方法通过柔性的耦合剂传递振动，将振子的高频超声振动传递到振动抛光工具上；实现了不依赖于整体模态分析与模态设计的振动抛光工具。并将该方法应用在硅...
- 何勍张玉成
- 文献传递
- 高频压电振子的振动传递特性及抛光应用研究
- 本文将高频超声振动引入硅片的化学机械复合抛光工艺，提出了一种接触式超声辅助复合抛光的新方法，利用高频超声能量大，穿透性强的特点，研制了振动系统与抛光头非整体共振的超声抛光装置，并应用于硅片的化学机械抛光实验。论文首先对高...
- 张玉成
- 关键词：高频超声压电振子化学机械抛光硅片
- 文献传递
- 硅片边缘行波超声抛光工具
- 硅片边缘行波超声抛光工具，涉及一种应用行波超声振动对硅片边缘进行抛光的工具。由抛光振子和固定支承座两部分组成，其特征在于，抛光振子固定在固定支承座上，抛光振子由弹性基体和压电陶瓷环粘贴在一起组成，振子工作面上开有若干个凸...
- 郑美超张玉成何勍
- 文献传递
- 利用液体传递兆赫级振动的超声抛光方法及其抛光装置
- 利用液体传递兆赫级振动的超声抛光方法及其抛光装置，涉及一种抛光方法及其装置，该方法通过柔性的耦合剂传递振动，将振子的高频超声振动传递到振动抛光工具上；实现了不依赖于整体模态分析与模态设计的振动抛光工具。并将该方法应用在硅...
- 何勍张玉成
- 充液对压电振子超声振动频率的影响研究
- 2015年
- 振子在不同边界条件下模态将有较大的变化,利用ANSYS有限元模拟,对空心振子充液前后进行了对比模拟,并进行了振子的实际测试实验,探究了充液对空心振子超声振动模态频率的影响。有限元模拟分析及振子实际测试表明,空心振子在充液后,同阶振动频率将会降低,并且频率降低的幅度随着所充液体密度的增大而增大;对空心振子纵弯模态频率在充液前后的不同变化情况进行了研究与比较,对比发现,充液条件对于弯曲模态频率的影响大于对拉伸模态的影响;充液压电振子的幅频特性曲线呈非线性,软特性。为超声压电振子的模态频率微调提供了理论与实验依据。
- 张玉成何勍郑美超
- 关键词：压电超声振动模态分析
