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陈鹏
作品数:
3
被引量:17
H指数:2
供职机构:
中国人民大学化学系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
化学工程
一般工业技术
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合作作者
张小岗
中国人民大学化学系
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陈鹏
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2007
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含烃类表面活性剂超临界二氧化碳干燥光刻胶的研究
随着集成电路微型化和结构复杂程度的提高,微电子加工过程的干燥步骤中,结构构型由于表面张力的作用而导致的塌陷和变形已成为日益严重的问题.含有烃类表面活性剂的超临界二氧化碳可以将体系表面张力降低到1 mN/m,而且大大节省了...
陈鹏
张小岗
关键词:
超临界二氧化碳
表面活性剂
文献传递
超临界流体技术制备纳米材料进展
被引量:3
2006年
目前,已经有多种与超临界流体有关的技术用于纳米材料的制备。在这些技术方法中,超临界流体可以作为介质,也可以直接作为反应物来参与制备过程。超临界流体技术广泛应用于制备无机材料、有机材料、高分子聚合物、医药、电子等方面纳米级材料。本文概述了超临界流体制备纳米材料的研究和应用情况。
陈鹏
张小岗
关键词:
超临界流体
微粉化技术提高水不溶性药物溶解度
被引量:14
2007年
药物的微粉化可以改善颗粒的润湿性,进而提高水不溶性药物的溶解度和溶解速率。目前普遍采用的药物微粒化技术主要包括机械研磨、超临界流体过程、低温喷淋和溶剂蒸发沉积过程。本文介绍了这些微粉化制备技术的基本原理以及该类技术的应用进展。
陈鹏
张小岗
关键词:
微粉化
超临界流体
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