林欢庆
- 作品数：10 被引量：10H指数：2
- 供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术理学机械工程更多>>
- 基于热丝法的制备双面金刚石涂层的装置
- 本发明针对现有热丝法沉积金刚石膜工艺中采用的电极只能在衬底上单面沉积金刚石膜且效率较低的问题，公开了一种基于热丝法的制备双面金刚石涂层的装置，它主要包由电极机构、进气机构、预紧力调节机构、测温机构、衬底机构组成。它实现了...
- 卢文壮左敦稳林欢庆袁佳晶徐锋孙玉利陈兴峰杨旭佟佩声喻赛花赵阳
- 文献传递
- EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量
- 2008年
- 为了完善金刚石膜生长工艺,对衬底温度进行测量和控制,采用基于C8051F020单片机的热电偶多区域测量系统来收集EACVD设备的衬底温度。对测温的机械机构、电路方案及软件流程进行了详细的设计。经过验证该系统测温准确,效果良好。
- 钟磊卢文壮左敦稳林欢庆
- 关键词：化学气相沉积法衬底温度热电偶
- EACVD小型化系统摆动衬底设计及温度场仿真研究被引量：4
- 2009年
- 对传统的电子辅助化学气相沉积(EACVD)系统连续转动衬底进行改进,设计了无急回特性的曲柄摇杆机构摆动衬底,解决了原衬底结构复杂,只能单点测温,以及衬底冷却水渗漏等问题;对摆动衬底的温度场进行仿真计算,分析了不同摆动参数对衬底温度场的影响,结果表明,选用合适的摆动参数可以获得比较均匀的衬底温度场。仿真结果可以为衬底摆动机构的设计提供理论依据。
- 王鸿翔左敦稳卢文壮林欢庆
- 关键词：温度场
- 小型化热丝CVD金刚石膜沉积设备的研究与开发被引量：1
- 2010年
- 对传统HFCVD金刚石膜沉积设备进行小型化改进,分析了传统沉积设备在真空系统和衬底机构结构上的不足之处;介绍了小型化CVD金刚石膜沉积设备的系统构成;详细描述了该小型化设备的真空系统和衬底摆动机构。该系统具有均匀的表面温度场和很高的运行稳定性,可以用于纳米金刚石薄膜和金刚石厚膜的沉积,制备的纳米金刚石薄膜晶粒大小基本上都在200 nm以下,纳米硬度为（450-700）GPa;沉积的金刚石厚膜直径达93 mm,晶粒完整均匀。
- 吴小军左敦稳徐锋卢文壮林欢庆
- 关键词：CVD金刚石膜小型化热丝化学气相沉积
- 基于热丝法的制备双面金刚石涂层的装置
- 本发明针对现有热丝法沉积金刚石膜工艺中采用的电极只能在衬底上单面沉积金刚石膜且效率较低的问题，公开了一种基于热丝法的制备双面金刚石涂层的装置，它主要包由电极机构、进气机构、预紧力调节机构、测温机构、衬底机构组成。它实现了...
- 卢文壮左敦稳林欢庆袁佳晶徐锋孙玉利陈兴峰杨旭佟佩声喻赛花赵阳
- 文献传递
- CVD金刚石膜连续制备系统
- 本发明针对现有的金刚石膜制备装置不能连续制备CVD金刚石膜而造成的效率低、灯丝损耗大、所需的辅助时间多、制备成本高的问题，公开了一种CVD金刚石膜连续制备系统，它主要由包括沉积装置、过渡装置和装卸装置组成，它利用装置实现...
- 卢文壮左敦稳徐锋钟磊王珉黎向锋林欢庆陈兴峰戴军之宋海薇张敏
- 文献传递
- 整体硬质合金铣刀上制备CVD金刚石涂层的系统三维流场研究被引量：2
- 2010年
- 本文通过建立整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层时CVD沉积系统流场的三维模型,研究了进气口分布对该系统流场均匀性的影响,优化了进气口的分布;在仿真的基础上开展了整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层的验证实验,采用SEM和Ram an对制备的CVD金刚石涂层进行了分析测试。结果表明:优化后的流场可以用于制备高质量的CVD金刚石涂层,且批量制备出的在衬底不同位置上的铣刀表面CVD金刚石涂层的质量均匀一致。
- 林欢庆卢文壮左敦稳徐锋袁佳晶马乐娟
- 关键词：铣刀CVD金刚石涂层三维流场
- 整体硬质合金CVD金刚石涂层立铣刀的应用基础研究
- 化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition,CVD)法制备的金刚石以膜的形式存在,其制造成本低,可以大面积化、曲面化制备,将CVD金刚石涂层应用到整体硬质合金铣刀上可以大幅提高铣刀的切削性能。本文开展了...
- 林欢庆
- CVD金刚石膜连续制备系统
- 本发明针对现有的金刚石膜制备装置不能连续制备CVD金刚石膜而造成的效率低、灯丝损耗大、所需的辅助时间多、制备成本高的问题，公开了一种CVD金刚石膜连续制备系统，它主要由包括沉积装置、过渡装置和装卸装置组成，它利用装置实现...
- 卢文壮左敦稳徐锋钟磊王珉黎向锋林欢庆陈兴峰戴军之宋海薇张敏
- 文献传递
- 小型化热丝CVD金刚石膜沉积设备的研究与开发
- 对传统HFCVD金刚石膜沉积设备进行小型化改进,分析了传统沉积设备在真空系统和衬底机构结构上的不足之处;介绍了小型化CVD金刚石膜沉积设备的系统构成;详细描述了该小型化设备的真空系统和衬底摆动机构.该系统具有均匀的表面温...
- 吴小军左敦稳徐锋卢文壮林欢庆
- 关键词：金刚石膜纳米材料
- 文献传递
