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邢延文

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇中文专利

主题

  • 8篇光学
  • 6篇投影物镜
  • 6篇物镜
  • 5篇光学系统
  • 4篇数值孔径
  • 4篇像差
  • 4篇大数值孔径
  • 3篇光学材料
  • 3篇波像差
  • 2篇动态补偿
  • 2篇平面波
  • 2篇气压计
  • 2篇物面
  • 2篇浸没
  • 2篇剪切
  • 2篇剪切干涉
  • 2篇光学元件
  • 2篇光栅
  • 2篇补偿装置
  • 2篇场曲

机构

  • 10篇中国科学院

作者

  • 10篇邢延文
  • 10篇吕保斌
  • 8篇林妩媚
  • 8篇刘志祥
  • 4篇邓超
  • 4篇白瑜
  • 4篇朱红伟
  • 4篇廖志远
  • 2篇范真节
  • 2篇徐富超

年份

  • 5篇2016
  • 5篇2014
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统
本发明涉及一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统。本发明中大数值孔径的折反射浸没投影光学系统由多个透镜和四个反射镜组成。从物面到像面依次可分为四个镜组。其中，第一透镜组具有正光焦度，且相对于其他镜组沿径向有一定距离偏移，...
吕保斌邢延文林妩媚白瑜邓超朱红伟廖志远刘志祥
文献传递
一种光学系统像差补偿装置与方法
本发明提供一种光学系统像差补偿装置与方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，波像差传感器位于投影物镜像面，安装在硅片台上，同时投影物镜内部氮气进行分段密封，在每个...
刘志祥邢延文吕保斌徐富超
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一种离轴反射成像光学系统
本发明涉及一种离轴反射成像光学系统，其中第一主反射镜、第二次反射镜和第三反射镜的顶点均在系统光轴上，均离轴使用；第一主反射镜和第三反射镜为球面，第二次反射镜和第四反射镜为非球面；第一主反射镜将入瞳入射至其表面的入射光束会...
吕保斌邢延文林妩媚范真节
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一种大数值孔径的投影物镜光学系统
本发明涉及一种大数值孔径的投影物镜光学系统。本发明中的投影物镜光学系统由多个透镜组成。从物面到像面依次可分为三个镜组。其中，第一透镜组具有负光焦度，第二透镜组具有正光焦度，第三透镜组具有正光焦度。本发明中的投影物镜光学系...
吕保斌邢延文林妩媚白瑜邓超朱红伟廖志远刘志祥
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一种光学系统波像差检测装置
本发明公开了一种光学系统波像差检测装置，该光学系统波像差检测装置中照明模块将光源发出的光线均匀投射至光学系统物面上。针孔阵列位于光学系统的物面位置，具有空间扩展和空间分割的作用。剪切光栅安装在光学系统的像面位置。通过精动...
吕保斌邢延文林妩媚刘志祥
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一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统
本发明涉及一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统。本发明中大数值孔径的折反射浸没投影光学系统由多个透镜和四个反射镜组成。从物面到像面依次可分为四个镜组。其中，第一透镜组具有正光焦度，且相对于其他镜组沿径向有一定距离偏移，...
吕保斌邢延文林妩媚白瑜邓超朱红伟廖志远刘志祥
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一种大数值孔径的投影物镜光学系统
本发明涉及一种大数值孔径的投影物镜光学系统。本发明中的投影物镜光学系统由多个透镜组成。从物面到像面依次可分为三个镜组。其中，第一透镜组具有负光焦度，第二透镜组具有正光焦度，第三透镜组具有正光焦度。本发明中的投影物镜光学系...
吕保斌邢延文林妩媚白瑜邓超朱红伟廖志远刘志祥
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一种离轴反射成像光学系统
本发明涉及一种离轴反射成像光学系统，其中第一主反射镜、第二次反射镜和第三反射镜的顶点均在系统光轴上，均离轴使用；第一主反射镜和第三反射镜为球面，第二次反射镜和第四反射镜为非球面；第一主反射镜将入瞳入射至其表面的入射光束会...
吕保斌邢延文林妩媚范真节
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一种光学系统像差补偿装置与方法
本发明提供一种光学系统像差补偿装置与方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，波像差传感器位于投影物镜像面，安装在硅片台上，同时投影物镜内部氮气进行分段密封，在每个...
刘志祥邢延文吕保斌徐富超
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一种光学系统波像差检测装置
本发明公开了一种光学系统波像差检测装置，该光学系统波像差检测装置中照明模块将光源发出的光线均匀投射至光学系统物面上。针孔阵列位于光学系统的物面位置，具有空间扩展和空间分割的作用。剪切光栅安装在光学系统的像面位置。通过精动...
吕保斌邢延文林妩媚刘志祥
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