闫锋涛
- 作品数：21 被引量：29H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学化学工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种基于DMD波前传感技术的反射式大陡度非球面及自由曲面检测装置和方法
- 本发明涉及一种基于DMD波前传感技术的反射式大陡度非球面及自由曲面检测装置和方法，属于光学检测领域。该方法引入数字微镜阵列(DMD)对畸变波前像差进行测量，结合光线追迹软件实现非球面及自由曲面的非零位检测。具体通过对DM...
- 刘锋伟吴永前闫锋涛
- 文献传递
- 亚纳米超高精度光学面形干涉测量技术及应用
- 2024年
- 超高精度干涉检测技术是大规模集成电路制造、同步辐射、引力波探测等领域的核心技术之一,也是天文、成像等诸多领域的关键技术之一。鉴于该项技术的重要性,国外对亚纳米或更高精度干涉仪采取了严格的限制措施,我国只能引进其二流的设备。只有立足于自主创新,突破超高精度检测的核心技术,才能满足我国对高精度检测的需求。
- 吴永前刘锋伟陈强陈小君徐燕赵文川闫锋涛
- 关键词：大规模集成电路干涉仪
- 一种激光跟踪仪测量双曲面镜参数的装置及方法
- 本发明公开了一种激光跟踪仪测量双曲面镜参数的装置及方法，包括激光跟踪仪，干涉仪，被测双曲面镜及辅助球面镜，激光跟踪仪配合随机配送靶球测量空间点位置坐标，干涉仪发出的波面经双曲面镜反射后，成为标准的球面波，标准的球面波经过...
- 范斌闫锋涛吴永前侯溪陈强万勇建伍凡
- 文献传递
- 大口径凸高次非球面的检测系统
- 本发明是大口径凸高次非球面的检测系统，包括相移干涉仪、辅助球面反射镜、计算全息片及计算机，计算机与相移干涉仪连接，计算全息片和凸高次非球面构成的光学系统的前焦点与相移干涉仪发出的光波焦点重合，后焦点与辅助球面反射镜的球心...
- 范斌闫锋涛侯溪陈强万勇建伍凡
- 文献传递
- 大口径光学非球面镜先进制造技术概述被引量：21
- 2020年
- 在光学系统中使用非球面可以有效校正像差,改善像质,进而简化系统结构;并且增大系统口径可以从根本上提高系统的分辨本领,因此在基础科学研究、天文学宇宙探测以及国防安全等领域都对大口径非球面镜有着迫切需求。大口径非球面的制造在现代光学制造工程中扮演着重要的角色。本文以大口径非球面镜的先进制造为主题,对大口径非球面镜的光学加工技术,特别是研磨抛光技术及其过程中所采用的面形检测方法进行了综述,特别总结了新一代先进光学制造的技术特征,展望了未来大口径非球面镜的制造策略。
- 刘锋伟吴永前陈强刘海涛闫锋涛张仕杨万勇建伍凡
- 关键词：光学加工
- 一种超大口径凸双曲面镜分环带检测系统及其检测方法
- 本发明是一种超大口径凸双曲面镜分环带检测系统及其检测方法，它包括相移干涉仪、两块Hindle球面反射镜、被测超大口径凸双曲面镜及计算机系统，其中计算机系统与相移干涉仪连接，两块Hindle球面反射镜实现超大口径凸双曲面镜...
- 闫锋涛范斌侯溪伍凡万勇建
- 一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法
- 本发明是一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法，包括在干涉仪输出光束的光轴上依次放置标准镜头、计算全息图和被测光学元件，将计算全息图固定在小五维调整架上，将被测光学元件固定在大五维调整架上；将计算全息图放置在标准...
- 李世杰陈强闫锋涛范斌万勇建侯溪
- 文献传递
- 一种基于DMD波前传感技术的反射式大陡度非球面及自由曲面检测装置和方法
- 本发明涉及一种基于DMD波前传感技术的反射式大陡度非球面及自由曲面检测装置和方法，属于光学检测领域。该方法引入数字微镜阵列(DMD)对畸变波前像差进行测量，结合光线追迹软件实现非球面及自由曲面的非零位检测。具体通过对DM...
- 刘锋伟吴永前闫锋涛
- 文献传递
- 稀疏子孔径采样检测大口径光学器件被引量：5
- 2011年
- 针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测得全口径面形进行比较。结果表明:当稀疏子孔径采样分布合理时,稀疏子孔径采样检测法检测出的全口径面形与实际测量的全口径面形相当,所以稀疏子孔径采样检测法可以在抛光过程中进行检测,从而提高检测效率。
- 闫锋涛范斌侯溪伍凡
- 关键词：光学检测采样抛光
- 一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法
- 本发明是一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法，包括在干涉仪输出光束的光轴上依次放置标准镜头、计算全息图和被测光学元件，将计算全息图固定在小五维调整架上，将被测光学元件固定在大五维调整架上；将计算全息图放置在标准...
- 李世杰陈强闫锋涛范斌万勇建侯溪
- 文献传递
