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陈琳

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇塑性
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇位错
  • 2篇静电
  • 2篇静电力
  • 2篇刻蚀
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇硅
  • 1篇塑性变形
  • 1篇绝缘
  • 1篇SI

机构

  • 3篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 3篇戈肖鸿
  • 3篇车录锋
  • 3篇陈琳
  • 2篇宋朝辉
  • 2篇李伟
  • 1篇李伟

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2012
  • 2篇2011
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
基于硅塑性变形原理的二维梳齿静电驱动器及制作方法
本发明涉及一种基于硅塑性变形原理的二维梳齿静电驱动器及其制作方法。其特征在于所述的静电驱动器的中央可动平台通过四根直梁连接到内部支撑框架上，内部支撑框架通过四根折叠梁连接到四个固定锚点上。依靠水平驱动梳齿与垂直驱动梳齿分...
车录锋陈琳李伟宋朝辉戈肖鸿
基于硅塑性变形原理的二维梳齿静电驱动器及制作方法
本发明涉及一种基于硅塑性变形原理的二维梳齿静电驱动器及其制作方法。其特征在于所述的静电驱动器的中央可动平台通过四根直梁连接到内部支撑框架上，内部支撑框架通过四根折叠梁连接到四个固定锚点上。依靠水平驱动梳齿与垂直驱动梳齿分...
车录锋陈琳李伟宋朝辉戈肖鸿
文献传递
基于Si塑性变形的二维驱动器的设计
2011年
设计并制作了一种新型的基于Si塑性变形的二维驱动器,驱动器由外围垂直驱动和内部水平驱动两部分组成。驱动器的制作采用普通Si片Si-Si键合技术,首先在结构片正面制作出绝缘填充槽,以实现垂直驱动部分和水平驱动部分的电绝缘,然后利用DR IE干法刻蚀技术释放结构,最后通过Si的塑性变形工艺使驱动器外围垂直驱动部分的可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出二维梳齿驱动器。经测量,驱动器垂直驱动部分可动梳齿和固定梳齿的位错量为19.8μm。
陈琳李伟戈肖鸿车录锋
关键词：塑性变形
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