陈卫卫
- 作品数：11 被引量：5H指数：2
- 供职机构：东南大学更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 不等基频硅微谐振式加速度计
- 本实用新型公开了一种不等基频硅微谐振式加速度计，其特征在于：该加速度计包括玻璃基底、引线层、键合层和硅结构层，最下层为玻璃基底，在玻璃基底的上表面溅射金属作为引线层，通过键合层把硅结构层悬置于玻璃基底之上；其中硅结构层包...
- 黄丽斌陈卫卫杨波王寿荣李宏生
- 文献传递
- 双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计
- 本发明公开了一种双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上；所述玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接；所述微加速度计结构由质量...
- 杨波殷勇黄丽斌王寿荣李宏生陈卫卫
- 不等基频硅微谐振式加速度计
- 本发明公开了一种不等基频硅微谐振式加速度计，其特征在于：该加速度计包括玻璃基底、引线层、键合层和硅结构层，最下层为玻璃基底，在玻璃基底的上表面溅射金属作为引线层，通过键合层把硅结构层悬置于玻璃基底之上；其中硅结构层包括上...
- 黄丽斌陈卫卫杨波王寿荣李宏生
- 文献传递
- 硅微谐振式加速度计结构设计与分析
- 硅微谐振式加速度计将被测加速度信号转换为谐振器频率的变化，直接输出数字信号，具有很高的灵敏度和分辨率，是一种具有潜在高精度特性的微型加速度计，在国民经济和国防军事等领域有着重要的使用价值和广阔的应用前景。论文围绕硅微谐振...
- 陈卫卫
- 文献传递
- 双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计
- 本实用新型公开了一种双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上；所述玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接；所述微加速度计结构由...
- 杨波殷勇黄丽斌王寿荣李宏生陈卫卫
- 文献传递
- 三轴集成硅微谐振式加速度计
- 本发明公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上,玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，所述上层微加速度计结构包括位于左边...
- 杨波黄丽斌王寿荣李宏生陈卫卫李秀亮
- 三轴集成硅微谐振式加速度计
- 本发明公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上,玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，所述上层微加速度计结构包括位于左边...
- 杨波黄丽斌王寿荣李宏生陈卫卫李秀亮
- 文献传递
- 不等基频硅微谐振式加速度计被引量：2
- 2011年
- 分析了硅微谐振式加速度计的两个谐振器在谐振频率相交点附近区域产生耦合的原因,设计了一种新型的不等基频硅微谐振式加速度计,并对其进行了有限元仿真。该加速度计由质量块、放大惯性力的杠杆机构以及一对尺寸不同的谐振器组成。采用DDSOG工艺加工。利用ANSYS有限元软件进行仿真,结果表明加速度计上谐振器的谐振基频为124 678 Hz,下谐振器的谐振基频为125 855 Hz,频率差为1 177 Hz,在全量程范围内谐振频率不相交,可以很好的消除两个谐振器之间耦合的影响,去除了测量盲区;该加速度计的标度因数为92 Hz/gn,量程为±10 gn。
- 陈卫卫黄丽斌杨波
- 关键词：加速度计谐振器
- 三轴集成硅微谐振式加速度计
- 本实用新型公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上，玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，所述上层微加速度计结构包括位于...
- 杨波黄丽斌王寿荣李宏生陈卫卫李秀亮
- 文献传递
- 不等基频硅微谐振式加速度计
- 本发明公开了一种不等基频硅微谐振式加速度计，其特征在于：该加速度计包括玻璃基底、引线层、键合层和硅结构层，最下层为玻璃基底，在玻璃基底的上表面溅射金属作为引线层，通过键合层把硅结构层悬置于玻璃基底之上；其中硅结构层包括上...
- 黄丽斌陈卫卫杨波王寿荣李宏生
