高欢 作品数:20 被引量:2 H指数:1 供职机构: 兰州空间技术物理研究所 更多>> 相关领域: 理学 更多>>
电子束蒸发TiO_2膜通氧量对薄膜光学性能的影响 被引量:2 2015年 研究了不同通氧量对电子束蒸发沉积二氧化钛薄膜的光学性能影响.随着氧气流量从37.4×10^-3 Pa·m^3·s^-1增加到61.2×10^-3 Pa·m^3·s^-1,真空室的真空度从1.4×10^-3 Pa 变化到2.5×10^-3 Pa,可以得到不同光学性能的二氧化钛薄膜.采用分光光度计测试其光谱,结果发现TiO2薄膜的透射率峰值随着真空度降低而增大,折射率和消光系数随真空度降低先升高后降低.在真空度2.0×10^-3 Pa 的工艺条件下,成膜质量最优,透射率为92%,折射率在2.50~2.20 之间,消光系数在10^-4以下.根据Cauchy 方程拟合其色散规律,拟合曲线和采用包络法计算得到的曲线较好重合,折射率随波长的变化公式为n(λ)=2.17+6.12×10^4/λ^2+2.98×10^8/λ^4. 王超 王多书 王济洲 李坤 李晨 高欢关键词:TIO2 真空度 光学性能 10.3~11.3μm透过长波红外滤光片及制备方法 本发明涉及10.3~11.3μm透过长波红外滤光片及制备方法,属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底和长、短波通膜系;长波通膜系结构为(0.5hl0.5h)^9(0.574l1.148h0.574l)^5(0.36h0... 王多书 董茂进 熊玉卿 张玲 王济洲 李晨 王超 高欢文献传递 一种小尺寸组合滤光片拼接夹具 本发明公开了一种小尺寸组合滤光片拼接夹具,属于滤光片夹具加工技术领域。所述夹具包括:底座、第一滑杆组件、第二滑杆组件、第三滑杆组件、直角定位块、压框、第一紧压块和第二紧压块;所述第一滑杆组件、第二滑杆组件和第三滑杆组件分... 王多书 李晨 张玲 熊玉卿 王济洲 董茂进 吴伟 王超 高欢文献传递 一种二次电子发射薄膜的制备方法 本发明公开了一种二次电子发射薄膜的制备方法,具体为一种以不锈钢为基片采用磁控溅射技术沉积二次电子发射薄膜的制备方法,属于功能薄膜制备领域。所述方法包括清洁真空室、清洗基底、装基片、真空室抽真空、等离子体清洗靶材和二次电子... 李晨 张玲 王多书 熊玉卿 王济洲 董茂进 吴伟 王超 高欢文献传递 一种具有二次电子发射功能的膜系制备方法 本发明公开了一种具有二次电子发射功能的膜系制备方法,属于功能薄膜制备领域。所述方法包括如下步骤:(1)清洁真空室,(2)清洗基片,(3)装基片,(4)真空室抽真空,(5)等离子体清洗靶材,(6)二次电子发射薄膜沉积。所述... 王多书 李晨 张玲 熊玉卿 王济洲 董茂进 吴伟 王超 高欢文献传递 11.4~12.5μm透过长波红外滤光片及制备方法 本发明涉及11.4~12.5μm透过长波红外滤光片及制备方法,属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底和长、短波通膜系;长波通膜系结构为(0.5hl0.5h)^9(0.574l1.148h0.574l)^5(0.36h0... 董茂进 王多书 熊玉卿 张玲 王济洲 李晨 王超 高欢文献传递 一种8~8.4μm透过的长波红外滤光片及制备方法 本发明涉及一种8~8.4μm透过的长波红外滤光片及制备方法,属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底、基底一侧长波通膜系和另一侧短波通膜系;长波通膜系结构为:(0.5lh0.5l)^10(0.57l1.14h0.57l)... 董茂进 王多书 熊玉卿 张玲 王济洲 李晨 王超 高欢文献传递 8.4~8.8μm透过的长波红外滤光片及制备方法 本发明涉及一种8.4~8.8μm透过的长波红外滤光片及制备方法,属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底、基底一侧长波通膜系和另一侧短波通膜系,长波通膜系结构为:(0.5lh0.5l)^10(0.57l1.14h0.57... 董茂进 王多书 熊玉卿 张玲 王济洲 李晨 王超 高欢文献传递 一种提高长波红外光学薄膜与锗基片附着力的方法 本发明公开了一种提高长波红外光学薄膜与锗基片附着力的方法,属于光学薄膜领域。所述方法包括基片的清洗、离子束轰击活化基片、过渡层的镀制、长波红外光学薄膜的镀制几个步骤。所述方法整个过程工艺稳定,重复性好,操作简便,可操作性... 董茂进 王多书 熊玉卿 张玲 王济洲 李晨 王超 高欢文献传递 一种射频磁控共溅射制备二次电子发射功能薄膜的方法 本发明涉及一种射频磁控共溅射制备二次电子发射功能薄膜的方法,属于功能薄膜制备领域。所述方法具体包括清洁真空室、清洗基片、装基片、真空室抽真空、等离子体清洗靶材和二次电子发射薄膜沉积六个步骤。采用所述方法制备的二次电子发射... 李晨 张玲 王多书 熊玉卿 王济洲 董茂进 吴伟 王超 高欢文献传递