安宏亮
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：哈尔滨理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
- HClO4掺杂PANI／PdPc复合膜及其气体传感器研究被引量：1
- 2008年
- 本文阐述了用化学合成法合成HClO4掺杂聚苯胺(PANI)和酞菁钯(PdPc),以松油醇为溶剂,将它们以不同比例相互杂化混合,再以微加工技术和溅射镀膜技术制作了平面微电极陶瓷基片,用涂膜工艺制作了7种不同混合比例的有机复合膜元件(PANI)x(PdPc)1-x.用静态配气法在气体浓度为0.01%时,对多种毒性气体逐一进行气敏特性测试.结果表明,PdPc对NO2呈N型半导体,灵敏度为0.06倍;HClO4掺杂PANI对SO2呈N型半导体,灵敏度为0.0023倍;x=1/6时,敏感膜对SO2、NO、Cl2也呈N型半导体,灵敏度分别为0.02倍,0.09倍,0.046倍.可通过选择不同的配比实现传感器的气敏选择性.
- 安宏亮施云波
- 关键词：复合膜气体传感器
- In<,2>O<,3>系半导体复合氧化物氯气敏感特性的研究
- 氯气是现代工业的重要原料之一，60％以上的商业化学品在其生产过程中要用到氯气，同时氯气又是有毒有害气体，对人和动、植物的危害性极大，生产、储运和使用过程中经常因为这些毒气的外泄和浓度过大造成重大伤亡事故。而人对氯气的嗅觉...
- 安宏亮
- 关键词：化学共沉淀法纳米半导体气体传感器
- 文献传递
- 基于MEMS纳米孔Al2O3基板的CuCl2／CuPc传感器及机理研究被引量：2
- 2007年
- 用MEMS微加工方法，以具有90～100nm孔柱的Al2O3膜为基板，设计并制作了具有φ0．2mm微孔通道的气体传感器芯片，并通过真空镀膜方法把CuCl2杂化修饰的CuPc蒸镀成气敏膜，以微壳封装方法制成微结构传感器，实现了主动吸气的检测模式，提高了响应时间和气敏性。通过SEM观察，可见良好的膜表面形貌和尺寸：Al2O3膜基板厚度为0．25mm，侧面为柱状紧密体，表面呈现90～100nm纳米孔活性态；用做电极和加热器的Pt膜的厚度为500nm，柱状密排；敏感膜厚为150nm，连续规整；微壳深度为150～200μm。测试结果表明，传感器对液氯蒸气具有较好的气敏性，其灵敏度为0．01％ Cl2浓度下的5倍以上，响应时间小于30s，并呈现N型半导体的变化规律。分析了改变通气状态和加热电压等条件时对传感器气敏性的影响，探讨了CuPc有机半导体的气敏机理。
- 施云波郭建英张洪泉时强安宏亮
- 关键词：MEMS气敏机理
