张志宇 作品数:69 被引量:46 H指数:6 供职机构: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家重点基础研究发展计划 国家高技术研究发展计划 更多>> 相关领域: 机械工程 电子电信 自动化与计算机技术 理学 更多>>
一种光学元件激光加工与面形误差原位实时检测方法及装置 本发明涉及一种光学元件激光加工与面形误差原位实时检测方法及装置,属于光学先进制造技术领域,目的是通过高效、准确、成本效益高的实时检测和控制光学元件幅面整体面形的质量。该检测装置包括:激光加工系统,干涉仪检测系统以及计算机... 张志宇 钟华坤 王晨 徐凯 张学军一种基于衍射原理的平行光管结构及设计方法 一种基于衍射原理的平行光管结构及设计方法,其中该结构包括主镜及与主镜间隔设置的次镜;所述主镜为谐衍射镜片且包括主入射面及与主入射面相背的主衍射面,所述主入射面为平面,所述主衍射面形成多个主衍射台阶;所述次镜的数量为至少一... 王若秋 尹小林 张志宇 李兴昶 薛栋林 张学军文献传递 离轴非球面SiC反射镜的精密铣磨加工技术 被引量:6 2013年 离轴非球面反射镜是高分辨率、大视场空间相机的核心元件,其镜面的形状精度和表面质量要求极高,加工难度很大,一直是光学系统先进制造技术的瓶颈。针对国家对空间大型SiC光学元件制造技术的重大需求,开展以大口径、高陡度、大离轴量和大偏离量为特点的离轴非球面反射镜的精密铣磨加工技术研究。开发非球面反射镜计算机辅助数控编程技术,提出五轴联动斜轴定角度加工方式,建立旋转中心在镜面外的螺旋加工轨迹,避免镜面几何中心处的加工残留。并基于五轴加工中心(型号DMG Ultrasonic 100-5)搭建超声振动辅助铣磨加工平台,以900 mm×660 mm口径离轴非球面SiC反射镜镜坯为加工样件进行工艺试验,加工面形精度峰谷值(Peak to valley,PV)达到18.8μm,方均根值(Root mean square,RMS)达到3.5μm。研究为按照非球面方程高精度铣磨超大尺度精度比离轴非球面反射镜提供了有效的解决方案。 张志宇 李锐钢 郑立功 张学军关键词:离轴非球面 CAD CAM 一种辊筒表面微结构制作设备、系统及方法 本申请公开了一种辊筒表面微结构制作设备,包括激光器,用于发出激光光束;激光直写装置,用于调整激光光束,获得直边、平顶分布的调整光束;聚焦透镜,用于聚焦调整光束,得到用于刻制微结构的聚焦光束;控制器,用于调整聚焦透镜与待刻... 张志宇 王若秋 薛栋林 张学军文献传递 激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析 被引量:2 2016年 计算全息图(CGH)在非球面、自由曲面等光学元件的高精度检测中发挥着重要作用。激光直写机床导轨的正交性误差会影响CGH图案的绘制精度,进而在面形检测结果中引入像散误差。为定量研究激光直写机床导轨正交误差对CGH检测结果的影响,利用标量衍射理论,建立激光直写机床导轨角度误差模型,以CGH对准区域图案为例对机床导轨正交性误差的影响进行分析。实验结果表明在机床导轨正交性误差为800μrad时的均方根(RMS)值、峰谷值(PV)值和Zernike像散系数与理论值分别相差2.26%、2.33%、1.72%,从而验证所建立误差模型的正确性。 郑立功 郝腾 国成立 王若秋 张志宇关键词:计算全息图 激光直写 标量衍射理论 一种衍射元件加工及精度补偿方法 本发明提供了一种衍射元件加工方法及精度补偿方法,利用激光直写设备在基板上完成s个加工区域以及t套对准图案的加工,从而实现s个部分目标图案的拼接。利用对准图案测量拼接误差,建模计算出拼接区域的位置偏差,进而推导出相位误差和... 胡海翔 张学军 张志宇 薛栋林 张鑫文献传递 一种干涉平板成像方法及其系统 本发明涉及干涉成像技术领域,特别涉及一种干涉平板成像方法及其系统;本发明通过观测目标发出的光经过自由传播到达透镜阵列,经过每个透镜汇聚到表面光栅结构,该结构可将汇聚光耦合入后端光子集成芯片中,光子集成芯片利用波分解复用结... 曾雪锋 陈天宝 张学军 白莹莹 张志宇文献传递 一种工件面形测量系统及方法 本发明实施例提供了一种工件面形测量系统及方法,电容传感器测量稳定性高,可以很好实现线性测量而无需对数据进行复杂的线性校正;镜面油污等杂质对电容传感器没有影响,不会影响测量结果,同时,电容传感器工作表面是圆形区域,具有一定... 张志宇 李兴昶 熊玲 罗霄 李锐钢 薛栋林 张学军文献传递 一种振幅/位相混合型计算全息板及其制备方法 本发明的振幅/位相混合型CGH的制备方法,先在基底表面镀铬,涂胶,对检测区域采用激光直写技术进行曝光显影,并通过湿法刻蚀去掉检测区域的铬层;再重新涂胶,此时检测区域只有光刻胶附着在表面,对准区域为铬层加光刻胶,利用激光直... 王若秋 张志宇 尹小林 薛栋林 张学军文献传递 一种反射镜面形的在线检测方法 本发明实施例公开了一种反射镜面形的在线检测方法。该反射镜面形的在线检测方法基于条纹反射原理,通过显示器显示理想周期变化的条纹图像,再通过孔径相机采集经超精密切削机床加工反射镜反射形成的条纹图像,以条纹图像的弯曲程度判断和... 陶小平 张学军 张志宇文献传递