您的位置： 专家智库 > >

付嫚

作品数：11 被引量：22H指数：4
供职机构：中国船舶重工集团公司第七一八研究所更多>>
相关领域：化学工程核科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇化学工程

主题

  • 4篇三氟化氮
  • 3篇精馏
  • 3篇纯化
  • 1篇低温精馏
  • 1篇电解
  • 1篇电解法
  • 1篇吸收法
  • 1篇连续精馏
  • 1篇精馏模拟
  • 1篇NF
  • 1篇纯化方法

机构

  • 3篇中国船舶重工...
  • 1篇天津大学

作者

  • 4篇付嫚
  • 3篇王少波
  • 2篇彭立培
  • 2篇李绍波
  • 1篇李本东
  • 1篇冀延治

传媒

  • 1篇化学工业与工...
  • 1篇舰船科学技术

年份

  • 1篇2008
  • 2篇2007
  • 1篇2004
共 11 条 记 录，以下是 1-4
全选 清除 导出
排序方式：
三氟化氮纯化方法进展被引量：7
2007年
介绍了三氟化氮(NF3)的基本物化性质及生产方法。为了满足电子工业对其纯度要求,采用的三氟化氮纯化方法有:低温精馏法、共沸精馏法、吸收法、选择吸附法以及各种方法的联用技术。
彭立培王少波李绍波付嫚
关键词：三氟化氮纯化精馏
连续低温精馏法纯化NF<,3>
NF3气体作为半导体工业中的等离子蚀刻剂和化学汽相沉积室的清洗气体在电子工业中发挥着很重要的作用，作为电子气体，对NF3气体的纯度要求很高。根据粗NF3气体的组成可以选择不同的纯化工艺和设备，本文研究了当前应用较多的冷阱...
付嫚
关键词：三氟化氮精馏模拟连续精馏低温精馏
文献传递
三氟化氮制备方法概述被引量：2
2007年
介绍了三氟化氮气体的2种生产方法——直接化合法和电解法,并根据它们的研究发展方向,具体介绍了其基本原理、生产工艺以及相关的工艺设备。
冀延治王少波李本东付嫚
关键词：三氟化氮电解法
三氟化氮纯化方法综述
介绍了三氟化氮(NF3)的基本物化性质及生产方法。为了满足电子工业对其纯度要求。采用的纯化方法有：低温精馏法、共沸精馏法、吸收法、选择吸附法以及各种方法的联用技术。
彭立培王少波李绍波付嫚
关键词：三氟化氮纯化方法精馏吸收法
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0