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何文苗
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2
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沈阳理工大学
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相关领域:
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合作作者
张华
沈阳理工大学
郝永平
沈阳理工大学
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2014
1篇
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新型MEMS光学开关的设计与分析
光学开关是一种在民用领域应用广泛的MEMS光路转换元件,具有低能耗、高响应、高精度、低成本等诸多优点,应用范围正从民用领域转向军用领域,并不断向其它领域扩展。 传统的二维平面光路转换光学开关技术已经成熟,但转换范围仅能...
何文苗
关键词:
惯性力场
有限元仿真
MEMS光学开关的设计与分析
2013年
由于传统机械结构设计的方法的种种缺点,本文提出了一种以系统级分析方法的方法实现MEMS光学开关的快速设计与优化。通过采用Coventorware软件ARCHITECT模块建立MEMS光学开关模型,分析了多物理耦合场下MEMS光学开关的动态响应特性,得到位移和电压大小的对应关系曲线,以及固有频率分析曲线。结合微机械工艺要求,通过系统级仿真,大大缩短了设计周期,同时提高机械结构的合理性。
何文苗
张华
郝永平
关键词:
系统级仿真
微机电系统
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