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何文苗

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:沈阳理工大学更多>>
相关领域:电气工程机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇光学
  • 2篇光学开关
  • 2篇MEMS
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元仿真
  • 1篇微机电系统
  • 1篇系统级仿真
  • 1篇机电系统
  • 1篇惯性力场
  • 1篇电系统

机构

  • 2篇沈阳理工大学

作者

  • 2篇何文苗
  • 1篇郝永平
  • 1篇张华

传媒

  • 1篇科技视界

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
新型MEMS光学开关的设计与分析
光学开关是一种在民用领域应用广泛的MEMS光路转换元件,具有低能耗、高响应、高精度、低成本等诸多优点,应用范围正从民用领域转向军用领域,并不断向其它领域扩展。  传统的二维平面光路转换光学开关技术已经成熟,但转换范围仅能...
何文苗
关键词:惯性力场有限元仿真
MEMS光学开关的设计与分析
2013年
由于传统机械结构设计的方法的种种缺点,本文提出了一种以系统级分析方法的方法实现MEMS光学开关的快速设计与优化。通过采用Coventorware软件ARCHITECT模块建立MEMS光学开关模型,分析了多物理耦合场下MEMS光学开关的动态响应特性,得到位移和电压大小的对应关系曲线,以及固有频率分析曲线。结合微机械工艺要求,通过系统级仿真,大大缩短了设计周期,同时提高机械结构的合理性。
何文苗张华郝永平
关键词:系统级仿真微机电系统
共1页<1>
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