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金里

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 3篇波导
  • 2篇转速
  • 2篇转速控制
  • 2篇刻蚀
  • 2篇交联
  • 2篇交联反应
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻工艺
  • 2篇硅衬底
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇SU-8
  • 2篇衬底
  • 1篇导光
  • 1篇衍射
  • 1篇越级
  • 1篇阵列
  • 1篇阵列波导
  • 1篇阵列波导光栅
  • 1篇探测器
  • 1篇微环

机构

  • 4篇浙江大学
  • 1篇中国计量学院

作者

  • 4篇金里
  • 2篇戴道锌
  • 2篇时尧成
  • 1篇郎婷婷
  • 1篇夏翔
  • 1篇吕飞
  • 1篇邹俊

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
基于硅基Su-8光波导的微环谐振器及光电探测器研究
随着光通信技术和光学传感技术的快速发展，集成光子器件因为其独特的优势如:高集成度、小型化等引起了广泛的关注。在铌酸锂、SiO2、Si、InP、SiN、聚合物等各类集成光学材料中，聚合物材料因为其低成本，低损耗，工艺简单等...
金里
关键词：微环谐振器光电探测器集成光子器件
一种制备脊形聚合物光波导的方法
本发明公开了一种制备脊形聚合物光波导的方法，本发明具体包括如下步骤：步骤1.采用等离子体增强型化学气相沉积在硅衬底上生长6～8μm的二氧化硅作为波导下包层；步骤2.利用旋涂工艺获得聚合物薄膜，调整旋涂转速控制聚合物薄膜的...
时尧成金里戴道锌
文献传递
一种制备脊形聚合物光波导的方法
本发明公开了一种制备脊形聚合物光波导的方法，本发明具体包括如下步骤：步骤1.采用等离子体增强型化学气相沉积在硅衬底上生长6～8μm的二氧化硅作为波导下包层;步骤2.利用旋涂工艺获得聚合物薄膜，调整旋涂转速控制聚合物薄膜的...
时尧成金里戴道锌
文献传递
基于SU-8聚合物的越级衍射型单纤三向波分复用器
2014年
介绍了基于阵列波导光栅（AWG）的单纤三向波分复用器的设计、仿真、制作与测试。利用阵列波导光栅的频谱周期性，采用越级衍射方法可在无需改变AWG布局，无需额外元件的情况下覆盖三向波分复用器的整个工作波段（1310-1550 nm）。器件的芯层采用较高折射率的SU-8聚合物，下包层是二氧化硅，并用空气作为覆盖层，制作流程简单，只需要紫外光刻，成本低。仿真结果显示三个工作通道3 dB带宽都大于11 nm，偏振波长漂移不超过0.65 nm。器件测试结果验证了越级衍射设计的正确性，在TM偏振态下的第二和第三波长通道的额外损耗是3 dB左右，第一波长通道的额外损耗是7 dB左右，串扰在-15 dB左右。整个器件大小仅1.3 mm×0.402 mm。
郎婷婷吕飞邹俊夏翔金里
关键词：集成光学阵列波导光栅
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共1页<1>
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