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秦榕
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
供职机构:
青海黄河上游水电开发有限责任公司
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发文基金:
青海省重点企业技术创新项目
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相关领域:
电气工程
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合作作者
刘刚
青海黄河上游水电开发有限责任公...
王舒娅
中国科学院青海盐湖研究所
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王舒娅
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刘刚
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秦榕
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有色金属(冶...
年份
1篇
2013
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改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进
被引量:6
2013年
改良西门子法是目前国内外多晶硅厂家最常用的方法,对提纯三氯氢硅的三塔精馏工艺进行改进。结果表明,改进后的四塔精馏工艺可以进一步降低三氯氢硅中硼、磷等杂质的含量,最终精馏塔顶馏出物高纯三氯氢硅纯度达到99.999%。
刘刚
秦榕
刘生章
王舒娅
关键词:
多晶硅
精馏
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