张爱芳
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
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- 重掺p型硅与二氧化钛复合的高氧敏结构及其制备方法
- 本发明公开了一种重掺p型硅与二氧化钛复合的高氧敏结构及其制备方法。本发明的氧敏薄膜是以重掺p型硅为基板或在镀有重掺p型硅薄膜层的基板上，靠近p型硅薄膜层的外侧浸渍涂覆二氧化钛薄膜。该氧敏薄膜的制备过程包括前驱体溶液的配制...
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- 文献传递
- 美国大学校园文化研究
- 张爱芳
- 关键词：校园文化
- 硅基板上Fe掺杂TiO_2氧敏薄膜的制备、结构与性能研究
- 2005年
- 采用溶胶-凝胶法,以Ti(OC4H9)4为前驱体,用提拉法在硅基板上制备了掺Fe的TiO2氧敏薄膜,对薄膜物相结构进行了X射线衍射(XRD)测定,利用扫描电镜(SEM)对薄膜微结构进行了观察.结果表明:在硅基板上生长的TiO2薄膜中锐钛矿相为均匀小晶粒分布结构,金红石相以大尺度团聚结构形貌出现.Fe离子的掺杂对硅基板上制备的TiO2薄膜中金红石相的形成有很大的影响.Fe的掺入降低了金红石相的形成温度约100℃,Fe掺量在6mol% 时,形成金红石相的量达到最大,即析晶能力最强.薄膜中形成晶相的晶格常数在<6mol%的低Fe范围内,随较小的Fe离子取代较大的Ti离子,锐钛矿相和金红石相的晶格常数都随之减小;在>6mol%的高Fe掺量范围内,随Fe掺量的增加,体系缺陷过量增加,晶格结构畸变严重,伴随着畸变能的释放,金红石相的晶格常数c轴逐渐增长,n轴略有下降(或基本不变). TiO2氧敏薄膜的氧敏性能受金红石相含量和氧空位浓度控制.当Fe离子掺杂浓度为6mol% 时,金红石相及相应氧空位达到最大值,TiO2氧敏薄膜的氧敏性能也达到最大值,比刚形成金红石相的薄膜的氧敏性能增加近19倍.
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- 关键词：溶胶-凝胶硅基板
