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一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置: 一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置属于工业加工领域，目的在于解决了传统曝光装置无法制造具有周期、非周期双码道的绝对式光栅尺的缺陷，提高了位移测量精度，实现超长计量钢带尺的制造。本发明还包括投影曝光头、CCD探测器和激...; 刘华卢振武熊峥孙强; 文献传递

用于长波红外目标模拟器的DMD衍射特性分析被引量：6: 2017年; 基于DMD的目标模拟器应用于长波红外波段(8~12μm)时,DMD的衍射效应对系统的成像对比度造成较大影响。为使系统获得高对比度的红外图像,需要对DMD的衍射特性进行分析。首先根据DMD的结构和工作原理,将DMD等效为一特殊的二维闪耀光栅,并利用光栅衍射理论和傅里叶变换,推导出DMD二维光栅衍射模型;然后利用MATLAB对DMD在8~12μm波段的衍射模型进行仿真计算;最后对仿真结果进行了实验验证。通过仿真计算和实验分析得出结论:基于DMD的目标模拟器应用于长波红外波段时,照明光束需要选取合适的入射角;当入射空间方位角为0°,入射天顶角为44~48°时,目标模拟器生成的红外图像对比度达到最佳,系统成像质量最好。; 韩庆王健熊峥张建忠马俊林刘英孙强; 关键词：衍射特性数字微镜器件红外目标模拟器

绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统被引量：7: 2014年; 提出了基于数字微镜器件(DMD)的双曝光头总体结构,该结构可同时刻划母尺的周期和非周期两个光栅码道。单曝光头包含曝光光源、调焦光源、DMD和投影镜头四部分,曝光光源由激光器、准直镜组、二维微透镜阵列和场镜组成。本文利用光学软件TracePro设计该光源,实现了能量的平顶分布,在14mm×10mm的照明面上均匀性达到95%以上。利用光学软件Zemax设计了工作在双波段(曝光光源0.403～0.407μm和调焦光源0.525～0.535μm)的共焦投影镜头,采用了二向色镜和分光棱镜使其能在曝光的同时进行实时调焦,优化后的系统在曝光波段和调焦波段均达到衍射极限,最大畸变为0.009%。与传统的光栅尺刻划技术对比,设计的曝光系统具有工艺简单、制作速度快、精度高等优势,可用于长、超长计量光栅的制作。; 刘华卢振武熊峥王尧王鹤黄剑波谭向全孙强; 关键词：数字微镜器件计量光栅

一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置: 一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置属于工业加工领域，目的在于解决了传统曝光装置无法制造具有周期、非周期双码道的绝对式光栅尺的缺陷，提高了位移测量精度，实现超长计量钢带尺的制造。本发明还包括投影曝光头、CCD探测器和激...; 刘华卢振武熊峥孙强; 文献传递

微型DMD哈达玛变换近红外光谱仪被引量：3: 2015年; 提出并设计了一个应用数字微镜(DMD)的哈达玛变换近红外光谱仪。以光栅为分光元件,用DMD代替传统的机械式哈达玛编码模板进行光学调制,用In Ga As单点光电二极管探测调制后的光谱信号。综合考虑分辨率、能量利用率、像差和体积等因素,合理选择狭缝长和宽、光栅入射角及透镜焦距,采用光路分段优化法进行光学设计,通过DMD面阵上的狭缝像和探测器上的点斑尺寸等分析设计结果。模拟分辨率优于4 nm,探测器上点斑尺寸小于3 mm,光学系统尺寸为75 mm×25 mm×85 mm。为提高光谱仪对弱光谱信号的探测能力,在系统前加入了一种集光结构,使从光纤出射的光能的利用率理论值提高24.2%。实验结果表明,该光谱仪的光谱分辨率优于6 nm,通过添加集光结构可以大大提高光谱仪的能量利用效率。该光谱仪具有分辨率高、能量利用率高、体积小、成本低等优点,有广阔的应用前景。; 王晓朵刘华党博石全向前许家林熊峥李云鹏卢振武; 关键词：光谱学哈达玛变换数字微镜

一种带有激光打标的钢带光栅尺集成化加工装置: 一种带有激光打标的钢带光栅尺集成化加工装置属于精细加工领域，目的在于解决现有加工装置长度测量与曝光两步工序分开引起的加工成本高、加工误差高及不易于大批量制造的问题，提高对位准确度。本发明包括传动轮、皮带张力器、母尺、LE...; 刘华孙强卢振武熊峥; 文献传递

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熊峥