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张丽
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
哈尔滨理工大学自动化学院
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发文基金:
国家自然科学基金
哈尔滨市科技创新人才研究专项资金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
宋鉴
哈尔滨理工大学自动化学院
李东洁
哈尔滨理工大学自动化学院
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李东洁
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1篇
哈尔滨理工大...
年份
1篇
2013
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基于二维SEM图像的纳米操作三维信息提取
被引量:1
2013年
针对基于SEM的遥控纳米操作系统中快速有效的获取探针的平面及深度信息这一问题,提出了边缘检测算法+遍历比较+预测补偿的方法对探针的X-Y方向位置信息进行提取.通过对SEM二维图像隐含信息的统计分析,提出了基于兴趣区域的灰度方差统计对探针Z向位置(深度)进行提取的方法.最后,对某次纳米线转移实验中采集到的实时SEM图像进行探针针尖的x-y方向信息提取及Z向位置与图像方差进行MATLAB拟合,证明了上述方法的合理性及有效性.
李东洁
邹佳鸥
宋鉴
张丽
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信息提取
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