李建超
- 作品数：69 被引量：30H指数：3
- 供职机构：西安工业大学更多>>
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- 相关领域：电子电信文化科学理学一般工业技术更多>>
- 升温模式对热处理TiN薄膜结构及性能的影响
- 2011年
- 为了比较不同热处理方式及工艺对TiN薄膜结构和性能的影响,在真空条件下、300～900℃范围内,对采用非平衡磁控溅射方法在单晶硅基底上沉积TiN薄膜后进行了热处理实验,考查了热处理模式(不同升温速率)和温度对薄膜结构和性能的影响.利用X射线衍射仪(XRD)对薄膜微结构进行表征,并利用扫描电镜观察了不同热处理模式下薄膜的表面形貌.同时,对不同工艺下薄膜的硬度、表面粗糙度和电阻率进行了表征.结果表明,薄膜经过热处理后,其晶体结构、择优取向、硬度、粗糙度和电阻率发生明显变化,并且随着热处理模式和温度的不同而产生较大差异.无论哪种模式,真空热处理后TiN薄膜的硬度均有所下降,其表面粗糙度亦有相似的变化趋势.两种模式下,经过450℃热处理后薄膜的硬度和粗糙度均达到最大值,与其高度择优取向的晶体结构有明显的相关性.
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- 关键词：非平衡磁控溅射TIN薄膜晶体结构
- 互换性与技术测量课程教学改革的探讨被引量：2
- 2011年
- 依据"互换性与测量技术基础"课程的特点,结合多年的教学活动,针对实验班、小课时的要求,阐述了教学改革方案,通过优化教学内容、改进教学方法、开设综合性设计题目等措施培养学生运用知识的综合能力。通过教学改革,取得了一定的教学效果。
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- 关键词：互换性教学改革教学方法实验班
- 一种热蒸发镀膜方法及其装置
- 本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种热蒸发镀膜方法及其装置。所述镀膜的实现方法是：从蒸发源扩散出来的膜料粒子，在其传输到基片表面的过程中，允许部分的膜料粒子通过通道传输到基片表面，实现薄膜沉积，其余的膜料粒子受到遮挡...
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- 文献传递
- 非线性光照自适应的图像拼接方法及其实现系统
- 本发明公开了一种非线性光照自适应的图像拼接方法，该方法为：对摄像机进行标定，通过摄像机对圆柱轴承进行图像采集，对采集得到的圆柱轴承图像展开成平面图像；对所述展开后的平面图像进行中值滤波，对滤波后获得的轴承侧表面图像进行非...
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- 梯度或渐变折射率薄膜的光学常数测量装置及方法
- 本发明涉及一种梯度或渐变折射率薄膜的光学常数的测量装置及方法。所述装置包括真空系统、椭偏参数检测系统、膜厚监控系统和离子源，所述真空系统包括真空室和样品台；所述膜厚监控系统包括石英晶振膜厚仪；所述样品台安装在真空室顶部，...
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- 一种激光损伤阈值测试系统
- 本发明提供一种激光损伤阈值测试系统，包括高能激光损伤装置、高分辨率彩色CCD图像损伤判别装置、CCD辅助光源装置和样品台运动控制装置。该测试系统对经高能激光辐照后的待测样品，先后交替采用分别配有低倍和高倍率物镜光学系统的...
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- 基于等离子体点燃时间判别薄膜损伤的方法
- 本发明公开了一种基于等离子体点燃时间判别薄膜损伤的方法及装置。解决了等离子体闪光法对薄膜损伤识别的误判问题，技术方案是：用至少三个探测器分别获取空气和薄膜等离子体闪光信号及入射激光信号，以后者为基准，得到空气和薄膜等离子...
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- 平显视差测量系统的设计与实现被引量：3
- 2011年
- 针对平视显示器调试过程中视差检测主观性大,不能给出精确量的问题。基于机器视觉,研制了一套平视显示器视差检测装置。装置采用传统光学系统,利用CCD光电耦合器件手动调节,将大视场平行光管十字分划成像,对图像做处理,计算给出视差值。用装置和摆头法测试结果进行比较,结果表明该测试系统提高了平视显示器视差检测的精确度,整个系统的测量精度为28″。
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- 关键词：平视显示器CCD器件视差机器视觉
- 外场环境下紫外与可见光双光轴平行性校准装置
- 本发明属于光学设备技术领域，特别涉及一种外场环境下紫外与可见光双光轴平行性校准装置。本发明要克服现有技术存在的环境因素对紫外目标成像探测系统光轴平行性造成影响的问题。为解决现有技术存在的问题，本发明包括焦深自校准组件和径...
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- 外场环境下激光光轴瞄准偏差测试系统
- 本发明涉及光学设备技术领域，具体涉及瞄准偏差测试装置技术领域，特别是一种外场环境下激光光轴瞄准偏差测试系统。本发明为克服现有技术存在的在外场环境下，光电瞄准设备以及精密测试装置工作精度差的问题，现采用的技术方案是：一种外...
- 高明吴振森倪晋平侯宏录杜玉军李建超马卫红吕宏王青松
- 文献传递
