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李鑫

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：大连理工大学电子科学与技术学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇压电双晶片
  • 1篇压电微泵
  • 1篇双腔
  • 1篇无阀微泵
  • 1篇无阀压电微泵
  • 1篇PDMS
  • 1篇并联式

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇陈怡儒
  • 1篇闫卫平
  • 1篇李鑫
  • 1篇徐迎华

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
双腔并联式无阀压电微泵的设计及制作被引量：4
2010年
为了实现微流控芯片的小型化、集成化,设计并制作了一种可定量连续输送微量液体的无阀压电微泵。该微泵采用双腔并联式结构,利用微机电系统(MEMS)技术在硅基片上制作了具有扩散口/喷口无阀结构的出入水口,采用压电双晶片作为驱动部件,以聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜。测试结果表明,泵膜的厚度、工作频率和电压对微泵的输出流速均有明显的影响,在频率1 100 Hz及电压80 V时,双腔体并联式无阀压电微泵的最大流速为210μL/min,约为相同结构单腔体微泵流速的1.5倍。
李鑫闫卫平徐迎华陈怡儒
关键词：双腔无阀微泵压电双晶片
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