孙敏
- 作品数:3 被引量:7H指数:2
- 供职机构:湖南工业大学机械工程学院更多>>
- 发文基金:湖南省产学研结合专项计划项目湖南省自然科学基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术理学建筑科学更多>>
- 制备工艺对SiO2/PET复合包装膜结合强度的影响
- SiO2/PET复合包装膜是一种新型软包装材料,具有极佳的阻隔性和良好的透明度、耐蒸煮性、可微波性、环境保护性等特点,可广泛应用于食品、医药、日化等领域。本文采用磁控溅射工艺,在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)基材上沉积S...
- 孙敏
- 关键词:磁控溅射
- 文献传递
- 溅射工艺参数对SiO_2/PET包装膜结合强度的影响被引量:7
- 2013年
- 采用磁控溅射工艺制备了SiO2/PET包装膜,研究了射频功率、溅射时间、本底真空度和氩气流量等工艺参数对膜结合强度的影响。结果表明:随着射频功率、氩气流量的增大和溅射时间的增加,膜的结合强度均呈现出先增大后减小的变化趋势;本底真空度越高,薄膜的结合强度越大;所设的4个工艺参数中,溅射时间对薄膜结合强度的影响最大,射频功率次之,本底真空度和氩气流量的影响最小。
- 丁泽良孙敏王文韬
- 关键词:磁控溅射PETSIO2薄膜工艺参数
- 基材清洗工艺对SiO_2/PET膜基结合强度的影响被引量:3
- 2015年
- 采用磁控溅射工艺,在PET表面沉积Si O2薄膜,利用SEM观察镀膜的表面形貌,通过附着力测试仪检测Si O2/PET膜基的结合强度,研究基材PET表面清洗工艺对Si O2/PET膜基结合强度的影响。结果表明:结合强度因PET基材表面清洗工艺的不同而不同,其中经等离子清洗的膜基结合强度最大,达0.14MPa,分别较深度清洗、一般清洗和不清洗的膜基结合强度高7.83%,27.27%,55.56%;等离子清洗工艺参数对膜基结合强度有较大影响,随着清洗时间的增加、氩气流量的增大和清洗功率的提高,膜基的结合强度均呈现出先增大后减小的变化趋势。
- 丁泽良林长生董运超孙敏
- 关键词:清洗工艺磁控溅射