冉英华
- 作品数：9 被引量：11H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
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- 相关领域：电子电信更多>>
- 基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计被引量：11
- 2015年
- 光源掩膜协同优化是45 nm节点以下浸没式光刻提高分辨率的重要途径之一,为了重构其优化后输出的像素级光源,提出了一种基于可寻址二维微反射镜阵列的新型照明模式变换系统设计方法。分析了减少重构光源所需微反射镜数量的原理,结合成像与非成像光学,利用柱面复眼透镜,获得了入射到微反射镜阵列上的非均匀的特定光强分布,基于此光强分布对微及射镜二维偏转角度进行了模拟及优化,并对该照明模式变换系统进行仿真,结果表明,光瞳重构精度小于2.5%,X,Y方向光瞳极平衡性小于0.5%,Prolith中重构光源的曝光性能仿真结果满足要求。与类似的系统相比,该系统仅用不足4000个镜单元即可达到设计要求,适用于集成度高的下一代浸没式光刻系统。
- 邢莎莎冉英华江海波邢廷文
- 关键词：成像系统光束整形
- 一种浸没式紫外光学系统
- 本发明提出了一种浸没式紫外光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该浸没式紫外光学系统，沿其光轴方向包括第一单元、第二单元、第三单元、第四单元和第五单元。从光束入射方向依次排布第一单元组L1具有正折光力，第二单元组L...
- 白瑜邢廷文朱红伟吕保斌邓超廖志远冉英华
- 文献传递
- 一种投影光学系统
- 本发明提供一种投影光学系统，沿投影光学系统光轴方向依次安置第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组并处于同一光轴；第一透镜组和第三透镜组具有负光焦度；第二透镜组、第四透镜组和第五透镜组具有正光焦度；第一...
- 冉英华邢廷文张海波吕保斌陈红丽白瑜
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- 一种大口径红外光学系统
- 本发明公开了一种大口径红外光学系统，用于将无穷远处中波光谱波段的目标辐射成像在中波红外探测器上。该大口径红外光学系统，由两块反射镜和十三块带曲面的透镜组成，从光束入射方向依次排布包括主镜(1)，次镜(2)，第一透镜(3)...
- 白瑜廖志远邓超冉英华
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- 一种投影光学系统
- 本发明提供一种投影光学系统，用于将物面的图像成像到像面。该系统沿光轴方向依次安置第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组，四个透镜组处于同一光轴。第一透镜组具有负光焦度，第二透镜组具有正光焦度，第三透镜组具有负光焦...
- 冉英华邢廷文林妩媚吕保斌陈红丽张海波白瑜
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- 一种浸没式紫外光学系统
- 本发明提出了一种浸没式紫外光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该浸没式紫外光学系统，沿其光轴方向包括第一单元、第二单元、第三单元、第四单元和第五单元。从光束入射方向依次排布第一单元组L1具有正折光力，第二单元组L...
- 白瑜邢廷文朱红伟吕保斌邓超廖志远冉英华
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- 一种投影光学系统
- 本发明提供一种投影光学系统，用于将物面的图像成像到像面。该系统沿光轴方向依次安置第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组，四个透镜组处于同一光轴。第一透镜组具有负光焦度，第二透镜组具有正光焦度，第三透镜组具有负光焦...
- 冉英华邢廷文林妩媚吕保斌陈红丽张海波白瑜
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- 一种投影光学系统
- 本发明提供一种投影光学系统，沿投影光学系统光轴方向依次安置第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组并处于同一光轴；第一透镜组和第三透镜组具有负光焦度；第二透镜组、第四透镜组和第五透镜组具有正光焦度；第一...
- 冉英华邢廷文张海波吕保斌陈红丽白瑜
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- 一种投影物镜倍率及畸变的检测装置及方法
- 本发明提供一种投影物镜倍率及畸变的检测装置及方法，所述装置包括框架单元中放置有投影物镜、固定单元、承片单元，承片单元的下表面放置在框架单元底部的表面上，固定单元位于投影物镜和框架单元之间，固定单元的外端面与框架单元的内壁...
- 陈红丽邢廷文林妩媚冉英华何毅
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