魏佳斯
- 作品数：27 被引量：45H指数：5
- 供职机构：上海市计量测试技术研究院更多>>
- 发文基金：上海市质量技术监督局科技项目国家重大科学仪器设备开发专项中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 用于测量内孔圆柱度的装置及其使用方法
- 本发明涉及一种用于测量内孔圆柱度的装置及其使用方法，利用本发明的一种用于测量内孔圆柱度的装置对被测工件的被测内孔进行检测时，通过第一检测杆、第二检测杆和第三检测杆在不同测量截面检测得出测量值并计算出被测内孔在测量截面上的...
- 钟亦林蔡潇雨魏佳斯李源
- 文献传递
- 用于测量内孔圆柱度的装置
- 本实用新型涉及一种用于测量内孔圆柱度的装置，利用本实用新型的一种用于测量内孔圆柱度的装置对被测工件的被测内孔进行检测时，通过第一检测杆、第二检测杆和第三检测杆在不同测量截面检测得出测量值并计算出被测内孔在测量截面上的圆度...
- 钟亦林蔡潇雨魏佳斯李源
- 文献传递
- 基于改进三点测量法的圆径测量研究被引量：5
- 2019年
- 三点测量圆度误差分离技术被广泛应用于工件形状的圆度误差和电机旋转的回转误差的分离算法中。而圆度误差能得以准确分离的关键在于合理配置三个位移传感器测头的安装角度,从而避免传递函数的分母为零的情况出现。然而,在具体实施过程中,位移传感器测头的角度安装误差是必然存在的,这就使得分析这一角度安装误差带来的影响变得尤为重要。基于经典的三点测量法模型,提出一种新的分析位移传感器测头的角度安装误差的模型。以三点测量法圆度测量中的圆径结果为目标,根据实际工况下的各种参数设置,定量分析了位移传感器测头的角度安装误差对最终结果的影响程度。最后,使用电容位移传感器开展工件外圆的圆径测量实验研究,确认了文中误差分析的有效性,圆径测量的重复性精度可以达到2μm以下。
- 钟亦林吴恩启蔡潇雨魏佳斯雷李华
- 关键词：位移传感器
- 双测头复合型微纳米测量仪的研制被引量：5
- 2020年
- 针对当前微纳米测量中存在的大范围高精度测量及复杂微结构几何参数表征难题,基于多测头传感和精密定位平台复用技术,开发了一台具有多种测量尺度和测量模式的复合型微纳米测量仪。为使其具备大范围快速扫描测量和小范围精细测量功能,仪器集成了白光干涉和原子力显微镜两种测头,通过设计适用于两种测头集成的桥架结构及宏/微两级驱动定位平台,实现整机的开发。为保证仪器测量结果的准确性和溯源性,利用标准样板对开发完成的仪器进行了校准。仪器搭载的白光干涉测头可以达到横向500 nm,纵向1 nm的分辨力;原子力显微镜测头横向和纵向分辨力均可达到1 nm。最后,利用目标仪器对微球样品进行了测量,通过大范围成像和小范围精细扫描,获得了微球的表面特征,验证了仪器对复杂微结构的测量能力。
- 吴俊杰刘俭刘俭魏佳斯傅云霞
- 关键词：原子力显微镜
- 扫描探针显微术SPM标准化现状研究
- 2024年
- 本文结合扫描探针显微术(Scanning Probe Microscopy,SPM)的专业性与多样性和标准化工作的要求,初步构建了符合领域发展的三维架构的SPM标准体系。接着,研究了SPM通用基础、关键部件/产品与应用检测方面的相关国家标准技术内容,说明当前SPM标准化与标准体系的建设情况。最后,在当前技术与产业状态下,提出以实现量值统一、接口兼容、质量可评价、结果可比较为目标,宜重点开展SPM性能指标检验标准、SPM成像质量的调整与评价方法标准、共性的SPM应用标准或指南标准等三方面的工作,完善我国SPM标准体系。
- 蔡潇雨吴俊杰魏佳斯
- 基于显微视觉的微球圆度测量方法研究被引量：7
- 2019年
- 利用显微视觉技术结合优化算法对微球的圆度进行自动测量。利用测量显微镜CCD相机采集微球图像,基于最大信息熵原理对图像增强,通过梯度非极大值抑制迭代算法分割图像,提取微球轮廓后进行最小二乘圆拟合,获得微球的圆度参数。该方法避免因滤波后微球目标边缘信息的丢失造成的检测精度降低。通过对0.5mm微球圆度测量实验证明:微球目标轮廓检测与提取的方法可以有效地抑制噪声干扰的影响,高效率实现目标边缘的准确定位;采用该方法获得的微球圆度值与标定微球圆度值之间的相对误差在0.17%之内,能够达到对微球圆度有效检测的目的。
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- 关键词：计量学微球显微视觉圆度边缘检测
- 一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置
- 本实用新型涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，在利用本实用新型的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象...
- 吴俊杰李源王阳傅云霞蔡潇雨魏佳斯周勇孙恺欣
- 文献传递
- 白光干涉测量系统的测量不确定度评定被引量：9
- 2021年
- 白光干涉测量系统(white-light interference system,WLIS)广泛用于微纳米表面形貌的精密测量,其测量不确定度评定是研究白光干涉测量系统计量特性的一项重要工作。基于微纳米线间隔和台阶,建立了WLIS测量表面形貌时的测量模型,明确了测量不确定度来源;以5000 nm的线间隔和180 nm的台阶高度为例,利用WLIS进行了测量,并分析WLIS的测量重复性、光学组件特性、传感器特性、运动模块性能、测试方法及环境等因素产生的不确定度分量,最终评定该WLIS测量线间隔和台阶高度的合成测量不确定度分别为21 nm和0.4 nm。对WLIS的不确定度评定确保了其测量结果的准确性、溯源性,并提出了提高系统整体计量特性的途径。
- 蔡潇雨蔡潇雨魏佳斯刘娜张学典张学典
- 关键词：计量学表面形貌测量白光干涉不确定度
- 一种微球旋转夹持装置
- 本发明公开了一种微球旋转夹持装置，主要解决现有原子力显微镜测量范围小，满足不了微球的全表面测量的技术问题。本发明技术方案为：一种微球旋转夹持装置，由X轴旋转夹持端、Y轴旋转夹持端、X向微移动平台及Y向微移动平台组成；所述...
- 蔡潇雨陈厚瑞魏佳斯周勇
- 可循迹纳米台阶标准样版的制备与表征被引量：6
- 2017年
- 介绍了纳米几何量量值传递中纳米标准样版的计量与溯源特性。分析了微纳米测量仪器在纳米标准样版几何参量校准中对标准样版循迹结构的具体需求。设计了标准值为60 nm,具有可循迹结构的纳米台阶标准样版。为了实现高精度、溯源性表征,基于计量型纳米测量仪(NMM),结合多种定位测量方法,对加工的纳米台阶标准样版进行测量与评价,并对其开展区域均匀性和长时间稳定性实验。实验结果表明,制备的台阶标准样版高度值与设计值基本一致,设计的循迹结构能有效地协助电荷耦合器件(CCD)实现快速循迹与定位,且采用溅射镀膜工艺优化了标准样版表面结构的特性,使多种定位测量方法的测量重复性标准偏差均小于1 nm。
- 曲金成雷李华雷李华李锁印蔡潇雨魏佳斯赵军韩志国
- 关键词：刻蚀工艺
