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郭钊

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：国防科技大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇多孔
  • 1篇多孔薄膜
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米多孔
  • 1篇纳米多孔薄膜
  • 1篇SIO2
  • 1篇超临界干燥

机构

  • 1篇国防科技大学

作者

  • 1篇周新贵
  • 1篇张长瑞
  • 1篇冯坚
  • 1篇郭钊
  • 1篇绉思卿
  • 1篇王娟
  • 1篇杨大祥

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
SiO2纳米多孔薄膜的制备
SiO纳米多孔薄膜是超大规模集成电路(ULSI)互连系统的最佳候选绝缘介质之一。本文以正硅酸乙酯、异丙醇、去离子水、盐酸、氨水为原料,采用溶胶-凝胶工艺、旋转涂胶工艺及超,临界干燥工艺制备纳米多孔SiO薄膜。研究了溶剂异...
杨大祥张长瑞周新贵冯坚王娟郭钊绉思卿
关键词：纳米多孔薄膜溶胶-凝胶超临界干燥
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