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高晓强
作品数:
1
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王凯
中国科学院上海微系统与信息技术...
邓闯
中国科学院上海微系统与信息技术...
贺端威
四川大学
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2013
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Ge基GaAs薄膜和InAs量子点MBE生长研究
2013年
采用分子束外延(MBE)法,在优化Ge衬底退火工艺的基础上,通过对比在(001)面偏<111>方向分别为0°、2°、4°和6°的Ge衬底上生长的GaAs薄膜,发现当Ge衬底的偏角为6°时有利于高质量GaAs薄膜的生长;通过改变迁移增强外延(MEE)的生长温度,发现在GaAs成核温度为375℃时,可在6°偏角的Ge衬底上获得质量最好的GaAs薄膜。通过摸索GaAs/Ge衬底上InAs量子点的生长工艺,实现了高效的InAs量子点光致发光,其性能接近GaAs衬底上直接生长的InAs量子点的水平。
高晓强
王凯
邓闯
贺端威
关键词:
分子束外延
INAS量子点
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