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马利民
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
洛阳理工学院机械工程学院
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发文基金:
河南省科技攻关计划
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
杨高杰
郑州大学机械工程学院
王淑珍
洛阳理工学院机械工程学院
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作者
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王淑珍
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马利民
传媒
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洛阳理工学院...
年份
1篇
2017
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太阳能电池板表面形貌测量仪
被引量:1
2017年
本文介绍了一种用于太阳能电池板表面质量检测的三维形貌测量仪,重点介绍了基于白光显微干涉和双衍射光栅激光位移计量的垂直扫描系统和计算机信息处理系统的结构组成与工作原理。通过采用该测量仪对标准单刻线样板和A级多晶硅片表面进行比对实验,验证了太阳能电池板表面形貌测量仪所能达到的精度。
杨高杰
马利民
王淑珍
关键词:
表面形貌
白光干涉
压电陶瓷
柔性铰链
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